[實用新型]一種發(fā)光二極管電極結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320125952.7
• 申請日: 2013-03-20
• 公開（公告）號: CN203300688U
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發(fā)明（設計）人: 廖豐標
• 申請（專利權）人: 江蘇揚景光電有限公司
• 主分類號: H01L33/38
• 分類號: H01L33/38
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于發(fā)光二極管制造技術領域，具體涉及一種發(fā)光二極管電極結構及其制造工藝。

背景技術

發(fā)光二極管由于具備有壽命長、體積小、發(fā)熱量低、耗電量少、反應速度快、無幅射及單色性發(fā)光之特性及優(yōu)點，因此被廣泛應用于指示燈、廣告廣告牌、交通號志燈、汽車車燈、顯示器面板、通訊器具、消費電子等各項產品中。

現有技術中的發(fā)光二極管結構如圖2所示，主要由n電極層、發(fā)光組件、p電極層和p焊盤層構成，其中P電極結構只包括p電極層和p焊盤，由于p電極層和p焊盤在生產時是分開來制造，這樣就會造成對準誤差，增加產品的不良率。

發(fā)明內容

實用新型目的：本實用新型的目的是為了解決現有技術中的不足，提供一種可提高生產效率且降低產品不良率的發(fā)光二極管電極結構及其制造工藝。

技術方案：本實用新型所述的一種發(fā)光二極管電極結構，包括發(fā)光組件，所述發(fā)光組件下方設有n電極層，所述發(fā)光組件上方設有p電極層，所述p電極層上方設有p焊盤，所述p電極層與p焊盤之間設有阻障層。

作為優(yōu)選，所述阻障層的厚度為0.1～1μm。

作為優(yōu)選，所述阻障層采用鈦、鎢、鉭、鉬上述材料的合金阻障層、或上述材料的硅化合物阻障層、氮化合物阻障層或硅氮化合物阻障層。

作為優(yōu)選，所述p電極層為金鋅合金電極、金鈹合金電極或鈦鉑合金電極。

作為優(yōu)選，所述p焊盤為鈦和鋁的合金電極、鈦和金的合金電極或鈦、鋁和金的合金電極，所述p焊盤的總厚度為0.5~3.0μm。

有益效果：本實用新型在現有發(fā)光二極管P電極結構中的p電極層與焊盤之間增加了阻障層，減小了對準的誤差，使得p電極層、阻障層與p焊盤完全對齊，因此提高了生產效率且降低了產品的不良率。

附圖說明

圖1為本實用新型一個實施例的結構示意圖。

圖2為現有技術中發(fā)光二極管的結構示意圖。

具體實施方式

如圖1所示的一種發(fā)光二極管電極結構，包括發(fā)光組件2，發(fā)光組件2下方設有n電極層1，發(fā)光組件2上方設有p電極層3，p電極層3上方設有p焊盤5，p電極層3與p焊盤5之間設有阻障層4，阻障層4的厚度為0.1～1μm，阻障層4采用鈦、鎢、鉭、鉬上述材料的合金阻障層，例如TiW、TaW，或上述材料的硅化合物、氮化合物或硅氮化合物，例如TiN、WN、TaN、TaSiN、WSiN、TWN，p電極層3為金鋅合金、金鈹合金或鈦鉑合金材料，p焊盤5為鈦和鋁的合金、鈦和金的合金或鈦、鋁和金的合金材料，p焊盤5的總厚度為0.5~3.0μm。這種發(fā)光二極管電極結構包括三種不同的生產工藝，第一種工藝包括如下步驟：

（1）在半導體迭層的窗口層上沉積p電極層材料；

（2）在p電極層上沉積阻障層材料；

（3）微影：在透光襯底的一個表面涂布感光材料；在該表面的上方放置光罩，該光罩上設有與所述圖案相同的圖案；曝光：使平行光經過光罩對感光材料進行選擇性的曝光，使光罩的圖案完整的轉移至透光襯底的表面上；顯影，使感光材料獲得與光罩圖案相同或互補的圖案；

（4）在阻障層上沉積p焊盤材料；

（5）使用托舉(Lift-off)制程,?定義p焊盤圖案；

（6）干式蝕刻：以p焊盤材料為硬屏蔽(hard?mask)進行干式蝕刻，使得P電極結構產生一個與光罩圖案相同或互補的圖案；

（7）進行退火工序以得到奧姆接觸：退火的工序在300-550℃的爐管中10秒至3分鐘或快速熱退火爐1秒至1分鐘中執(zhí)行。

第二種工藝包括如下步驟：

（1）在半導體迭層的窗口層上沉積p電極層材料；

（2）在p電極層上沉積阻障層材料；

（3）在阻障層上沉積p焊盤材料；

（4）微影：在透光襯底的一個表面涂布感光材料；在該表面的上方放置光罩，該光罩上設有與所述圖案相同的圖案；曝光：使平行光經過光罩對感光材料進行選擇性的曝光，使光罩的圖案完整的轉移至透光襯底的表面上；顯影，使感光材料獲得與光罩圖案相同或互補的圖案；

（5）干式蝕刻：對所述感光材料進行干式蝕刻，使得所述P電極結構產生一個與光罩圖案相同或互補的圖案；

（6）進行退火工序以得到奧姆接觸：退火的工序在300-550℃的爐管中10秒至3分鐘或快速熱退火爐1秒至1分鐘中執(zhí)行。

第三種工藝包括如下步驟：