[實用新型]一種用于制造有機發光顯示器的掩模板

有效

• 申請號: 201320124957.8
• 申請日: 2013-03-19
• 公開（公告）號: CN203320115U
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 魏志凌
• 申請（專利權）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;H01L51/56;H05B33/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于制造有機發光顯示器的掩模板，其包括平面板及形成在平面板上的開口，其特征在于：所述開口按預設的位置排列，所述開口內壁在任意一個垂直于所述平面板上下平面的截面上形成平滑過渡曲線，所述平滑過渡曲線與所述平面板上下平面為非垂直結構且與所述平面板上下平面形成的圖形為蒸鍍源一側開口大、另一側開口小的結構，所述平滑過渡曲線的所有曲線的曲率中心位于所述開口一側。

2.根據權利要求1所述的用于制造有機發光顯示器的掩模板，其特征在于，所述平滑過渡曲線為直線。

3.根據權利要求1或權利要求2所述的用于制造有機發光顯示器的掩模板，其特征在于，所述開口在所述平面板上下平面上的形成的按圖案形狀為矩形或圓形。

4.根據權利要求3所述的用于制造有機發光顯示器的掩模板，其特征在于，所述矩形為倒有圓角/倒角的矩形。

5.根據權利要求1或權利要求2所述的用于制造有機發光顯示器的掩模板，其特征在于，所述開口構成的圖案與基板上相應的像素點位置相適應。

6.根據權利要求1或權利要求2所述的用于制造有機發光顯示器的掩模板，其特征在于，所述過渡平滑曲線與所述平面板所在的平面方向所呈的切線夾角范圍α為20°～70°。

7.根據權利要求6所述的用于制造有機發光顯示器的掩模板，其特征在于，所述過渡平滑曲線與所述平面板所在的平面方向所呈的切線夾角范圍α為30°～60°。

8.根據權利要求7所述的用于制造有機發光顯示器的掩模板，其特征在于，所述過渡平滑曲線與所述平面板所在的平面方向所呈的切線夾角范圍α為40°～50°。

9.根據權利要求8所述的用于制造有機發光顯示器的掩模板，其特征在于，所述過渡平滑曲線與所述平面板所在的平面方向所呈的切線夾角范圍α為45°。