[實用新型]激光誘導擊穿光譜分析系統

有效

• 申請號: 201320116539.4
• 申請日: 2013-03-14
• 公開（公告）號: CN203414408U
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 趙衛;段憶翔;張文松;朱香平;湯潔;豆西博
• 申請（專利權）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: G01N21/63
• 分類號: G01N21/63
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 陳廣民

1.激光誘導擊穿光譜分析系統，其特征在于：包括控制單元、脈沖激光器和沿脈沖激光出射方向依次設置的分束器、用以放置待測樣品的可移動定位平臺、光譜收集單元、光譜儀以及數據處理系統；所述分束器將脈沖激光器的出射光脈沖按照設定的能量分配比例分出主光路和采樣光路，在主光路上依次設置有激光擴束準直及聚焦光學系統、與所述可移動定位平臺構成反饋控制的樣品定位單元，在采樣光路上分別設置有脈沖激光能量測量模塊、脈沖觸發控制單元，其中，脈沖激光能量測量模塊的信號輸出端連接至控制單元的第一輸入端，脈沖觸發延遲單元依次通過觸發信號產生單元、延遲控制電路方波信號輸出連接至控制單元的第二輸入端，所述樣品定位單元的信號輸出端連接至控制單元的第三輸入端；控制單元具有多路控制信號輸出，各控制信號輸出端分別對應接至樣品定位單元、可移動定位平臺、光譜儀；光譜儀的數據輸出端連接至數據處理系統。

2.根據權利要求1所述的激光誘導擊穿光譜分析系統，其特征在于：

所述樣品定位單元包括雙光束光源系統和相機，雙光束光源系統發出的兩束激光以所述主光路的光軸對稱并以固定角度照射在待測樣品表面；相機用于拍攝待測樣品表面的光斑，與可移動定位平臺構成反饋控制。

3.根據權利要求1所述的激光誘導擊穿光譜分析系統，其特征在于：

所述光譜收集單元通過光纖耦合連接至光譜儀，光譜收集單元采用卡塞格林望遠系統。

4.根據權利要求1所述的激光誘導擊穿光譜分析系統，其特征在于：

所述脈沖觸發延遲單元接收來自脈沖激光能量測量模塊漫反射光，并給出可調延遲的方波信號。

5.根據權利要求1所述的激光誘導擊穿光譜分析系統，其特征在于：

所述樣品定位單元始終固定于主光路上，整體以主光路的光軸對稱，并在樣品定位單元固定板中心開孔，其結構保證對經過激光擴束準直及聚焦光學系統后的激光光束傳輸無影響。

6.根據權利要求1所述的激光誘導擊穿光譜分析系統，其特征在于：

所述分束器的入射面與光軸夾角呈45°。?

7.根據權利要求1所述的激光誘導擊穿光譜分析系統，其特征在于：

所述可移動定位平臺的外部設置有光罩。

8.根據權利要求1所述的激光誘導擊穿光譜分析系統，其特征在于：

所述脈沖激光器的工作波長取1064nm、532nm或256nm，脈沖能量80-120毫焦，脈沖寬度6-9納秒；所述分束器采用10:90分光鏡，即脈沖激光經該分束器透射90%光能量反射10%光能量。?