[實用新型]一種真空計自動校準裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320115264.2
• 申請日: 2013-03-14
• 公開（公告）號: CN203191151U
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發(fā)明（設計）人: 周旭;郭帥;池華敬;孟秀清;陳革;張勝柱
• 申請（專利權）人: 黃鳴
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

1.一種真空計自動校準裝置，包括校準真空室、標準真空計、抽真空系統(tǒng)和至少一個被校準真空計，所述標準真空計和所述被校準真空計通過管道分別與校準真空室連接，所述校準真空室與所述抽真空系統(tǒng)連接；其特征在于，還包括自動控制及數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)，所述自動控制及數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)分別連接所述標準真空計、所述被校準真空計和所述校準真空室。

2.根據(jù)權利要求1所述的真空計自動校準裝置，其特征在于，所述自動控制及數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)包括嵌入式計算機、模數(shù)轉換器、流量控制器和通訊控制器；所述標準真空計和所述被校準真空計分別通過導線與所述通訊控制器連接，所述通訊控制器與所述嵌入式計算機連接，所述嵌入式計算機與所述模數(shù)轉換器連接，所述模數(shù)轉換器通過導線與流量控制器連接，所述流量控制器的進氣端通過減壓閥連接氣瓶，所述流量控制器的出氣端連接所述校準真空室。

3.根據(jù)權利要求2所述的真空計自動校準裝置，其特征在于，所述通訊控制器為USB轉RS485/232控制器。

4.根據(jù)權利要求2所述的真空計自動校準裝置，其特征在于，所述流量控制器為壓電陶瓷閥。

5.根據(jù)權利要求2所述的真空計自動校準裝置，其特征在于，所述校準真空室為高度與內(nèi)徑之比為1-3的圓柱體，所述圓柱體的底部設有法蘭。

6.根據(jù)權利要求5所述的真空計自動校準裝置，其特征在于，所述校準真空室的二分之一高度處、所述校準真空室的四周均勻分布7個管道，所述7個管道分別連接所述流量控制器、所述標準真空計和5個所述被校準真空計。

7.根據(jù)權利要求1所述的真空計自動校準裝置，其特征在于，所述標準真空計為高精度復合真空計。

8.根據(jù)權利要求1-7任一項所述的真空計自動校準裝置，其特征在于，所述抽真空系統(tǒng)包括分子泵和機械泵，所述分子泵與所述機械泵間通過管道連接，所述管道上設有電磁閥，所述分子泵連接所述真空校準室。

9.根據(jù)權利要求8所述的真空計自動校準裝置，其特征在于，所述分子泵通過管道連接電磁閥的進口，所述電磁閥的出口連接另一個管道的一端，所述管道的另一端連接機械泵。

10.根據(jù)權利要求8所述的真空計自動校準裝置，其特征在于，所述校準真空室的底部通過法蘭與所述分子泵的法蘭連接。