[實用新型]一種硅電容麥克風有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320112230.8 | 申請日： | 2013-03-12 |
| 公開（公告）號： | CN203206466U | 公開（公告）日： | 2013-09-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 萬蔡辛;楊少軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京卓銳微技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11139 | 代理人： | 孫皓晨;張愛蓮 |
| 地址： | 100191 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 電容 麥克風 | ||
1.一種硅電容麥克風，包括基板、背極板和振膜，所述振膜位于所述基板和所述背極板之間，所述基板上設(shè)有聲腔，所述背極板和所述振膜之間設(shè)有固定氣隙，所述振膜與所述背極板上分別設(shè)有電極引出的焊盤以作電氣連接之用，其特征在于，所述振膜為圓形，其邊緣全封閉固定在所述基底上，所述振膜上包括中心孔和與所述中心孔同心的一個或多個褶皺環(huán)，所述褶皺環(huán)位于等于或大于1/2振膜半徑的區(qū)域內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅電容麥克風，其特征在于，所述褶皺環(huán)為一個，其形狀為上凸或下凹形狀，所述褶皺環(huán)與所述振膜所在平面之間設(shè)置有倒角。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅電容麥克風，其特征在于，所述褶皺環(huán)為多個，彼此之間為上凸形狀和下凹形狀交錯設(shè)置，且相鄰的兩個褶皺環(huán)之間設(shè)有過渡平面，相鄰的所述褶皺環(huán)和所述過渡平面之間、以及所述褶皺環(huán)和所述振膜所在平面之間均設(shè)置有倒角。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅電容麥克風，其特征在于，所述中心孔的直徑為0.2-200微米。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅電容麥克風，其特征在于，所述背極板上有多個開孔，且所述背極板靠近所述振膜的一面設(shè)有突起。
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