[實用新型]高效抽真空設備

有效

• 申請號: 201320110259.2
• 申請日: 2013-03-12
• 公開（公告）號: CN203161477U
• 公開（公告）日: 2013-08-28
• 發明（設計）人: 周樹法
• 申請（專利權）人: 昆山立特納米電子科技有限公司
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14
• 代理公司: 昆山四方專利事務所 32212
• 代理人: 盛建德

技術領域

本實用新型涉及一種高效抽真空設備。

背景技術

目前的抽真空設備，利用擴散泵在對真空腔體抽高真空時，由于擴散泵工作時產生的熱量會使擴散泵內的油蒸發上升到高抽閥，即反油，進而進入到真空腔體內，影響真空腔體內的工藝，造成工藝不穩定，并影響抽速波動。

發明內容

為了克服上述缺陷，本實用新型提供了一種高效抽真空設備，能夠有效避免擴散泵反油現象發生，從而保證真空腔體內的工藝穩定性。

本實用新型為了解決其技術問題所采用的技術方案是：一種高效抽真空設備，包括真空腔體、用于抽高真空的擴散泵和用于抽低真空的滑閥泵，所述真空腔體上設有第一管道連通所述滑閥泵；所述擴散泵的一端直接連接到第一管道靠近所述真空腔體一端，另一端通過第二管道連接到所述第一管道靠近所述滑閥泵一端；在所述第一管道和所述擴散泵連接處設有高抽閥，該高抽閥能使所述真空腔體通過第一管道與擴散泵和滑閥泵之一連通，在所述高抽閥和擴散泵之間設有冷卻裝置。

作為本實用新型的進一步改進，所述冷卻裝置為一冷井。

作為本實用新型的進一步改進，在所述第一管道位于所述高抽閥與該第一管道和第二管道的連接處之間設有第一閥門。

作為本實用新型的進一步改進，在所述第二管道上設有第二閥門。

本實用新型的有益效果是：通過在連接擴散泵和真空腔體之間的高抽閥下設置一冷卻裝置，可以有效將擴散泵產生的多余熱量吸收，從而避免反油現象發生，保證真空腔體內工藝的穩定性和擴散泵抽取真空的速度。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

結合附圖，作以下說明：

1——真空腔體?????????????????2——擴散泵

3——滑閥泵???????????????????4——第一管道

5——第二管道?????????????????6——高抽閥

7——冷卻裝置?????????????????8——第一閥門

9——第二閥門

具體實施方式

結合附圖，對本實用新型作詳細說明，但本實用新型的保護范圍不限于下述實施例，即但凡以本實用新型申請專利范圍及說明書內容所作的簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本實用新型專利涵蓋范圍之內。

如圖1所示，一種高效抽真空設備，包括真空腔體1、用于抽高真空的擴散泵2和用于抽低真空的滑閥泵3，所述真空腔體上設有第一管道4連通所述滑閥泵；所述擴散泵的一端直接連接到第一管道靠近所述真空腔體一端，另一端通過第二管道5連接到所述第一管道靠近所述滑閥泵一端；在所述第一管道和所述擴散泵連接處設有高抽閥6，該高抽閥能使所述真空腔體通過第一管道與擴散泵和滑閥泵之一連通，在所述高抽閥6和擴散泵2之間設有冷卻裝置7。這樣，冷卻裝置在抽真空時，可有效降低油溫，穩定工藝，同時保證抽真空的速率。

優選的，所述冷卻裝置為一冷井。

優選的，在所述第一管道位于所述高抽閥與該第一管道和第二管道的連接處之間設有第一閥門8。

優選的，在所述第二管道上設有第二閥門9。