[實(shí)用新型]帶在線檢測(cè)的光學(xué)元件激光預(yù)處理及修復(fù)的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320109986.7
• 申請(qǐng)日: 2013-03-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203197459U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳周令;陳堅(jiān)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥知常光電科技有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/00
• 分類號(hào): B23K26/00;B23K26/42;B23K26/06
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所 34115
• 代理人: 金凱

1.帶有在線檢測(cè)的光學(xué)元件激光預(yù)處理及修復(fù)的裝置，包括有激光預(yù)處理及修復(fù)系統(tǒng)，所述的激光預(yù)處理及修復(fù)系統(tǒng)包括有相對(duì)光學(xué)元件表面設(shè)置的預(yù)處理光源或修復(fù)光源，其特征在于：所述的帶有在線檢測(cè)的光學(xué)元件激光預(yù)處理及修復(fù)裝置還包括有在線檢測(cè)系統(tǒng)；所述的激光預(yù)處理及修復(fù)系統(tǒng)還包括有設(shè)置于預(yù)處理光源或修復(fù)光源后端且位于光學(xué)元件表面前端的第一光開(kāi)關(guān)和光能量調(diào)整裝置，所述的在線檢測(cè)系統(tǒng)包括有用于激發(fā)光學(xué)元件表面熒光和紅外輻射的泵浦光源、設(shè)置于泵浦光源后端且位于光學(xué)元件產(chǎn)生熒光和紅外輻射的表面之間的第二光開(kāi)關(guān)和光調(diào)制裝置、用于獲得熒光成像圖像的熒光成像檢測(cè)系統(tǒng)或用于獲得紅外成像圖像的紅外成像檢測(cè)系統(tǒng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有在線檢測(cè)的光學(xué)元件激光預(yù)處理及修復(fù)的裝置，其特征在于：所述的熒光成像檢測(cè)系統(tǒng)包括有相對(duì)光學(xué)元件產(chǎn)生熒光和紅外輻射的表面設(shè)置的熒光成像裝置，順次設(shè)置于熒光成像裝置后端的熒光濾光裝置和熒光探測(cè)裝置；所述的紅外成像檢測(cè)系統(tǒng)包括有相對(duì)光學(xué)元件產(chǎn)生熒光和紅外輻射的表面設(shè)置的紅外成像裝置，順次設(shè)置于紅外成像裝置后端的紅外濾光裝置和紅外探測(cè)裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有在線檢測(cè)的光學(xué)元件激光預(yù)處理及修復(fù)的裝置，其特征在于：所述的激光預(yù)處理及修復(fù)系統(tǒng)還包括有設(shè)置于第一光開(kāi)關(guān)和光能量調(diào)整裝置后端的第一分光楔板和設(shè)置于第一分光楔板一輸出端后的第一光能量探測(cè)裝置，所述的光學(xué)元件表面相對(duì)第一分光楔板另一輸出端設(shè)置；所述的在線檢測(cè)系統(tǒng)還包括有設(shè)置于第二光開(kāi)關(guān)和光調(diào)制裝置后端的第二分光楔板和設(shè)置于第二分光楔板一輸出端后的第二光能量探測(cè)裝置，所述的光學(xué)元件產(chǎn)生熒光和紅外輻射的表面相對(duì)第二分光楔板另一輸出端設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有在線檢測(cè)的光學(xué)元件激光預(yù)處理及修復(fù)的裝置，其特征在于：所述的激光預(yù)處理及修復(fù)系統(tǒng)還包括有設(shè)置于預(yù)處理光源或修復(fù)光源后端且位于光學(xué)元件表面前端的第一光束整形處理裝置和第一光束聚焦裝置；所述的在線檢測(cè)系統(tǒng)還包括有設(shè)置于泵浦光源后端且位于光學(xué)元件產(chǎn)生熒光和紅外輻射的表面前端的第二光束整形處理裝置和第二光束聚焦裝置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有在線檢測(cè)的光學(xué)元件激光預(yù)處理及修復(fù)的裝置，其特征在于：所述的帶有在線檢測(cè)的光學(xué)元件激光預(yù)處理及修復(fù)裝置還包括泵浦光源入射角度調(diào)整裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶有在線檢測(cè)的光學(xué)元件激光預(yù)處理及修復(fù)的裝置，其特征在于：所述的熒光探測(cè)裝置為熒光探測(cè)器陣列，選用CCD相機(jī)；所述的紅外探測(cè)裝置為紅外探測(cè)器陣列，選用紅外相機(jī)。