[實用新型]一種多晶硅尾氣中氯硅烷循環(huán)利用系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320104292.4 | 申請日： | 2013-03-07 |
| 公開（公告）號： | CN203220842U | 公開（公告）日： | 2013-10-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 樊祿祺;王啟海;陶擁軍;湯建波;陳立志 | 申請（專利權(quán)）人： | 江西景德半導(dǎo)體新材料有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/18 | 分類號： | B01D53/18;C01B7/07 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 333000 江*** | 國省代碼： | 江西;36 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 多晶 尾氣 硅烷 循環(huán) 利用 系統(tǒng) | ||
1.一種多晶硅尾氣中氯硅烷循環(huán)利用系統(tǒng)，包括CDI冷凝系統(tǒng)換熱器（1）、氯硅烷液體緩沖罐（2）、泵（3）、氯化氫和氫氣氣體壓縮機(jī)（4）、吸收塔（5）、換熱器（6）、解析塔（7），所述CDI冷凝系統(tǒng)換熱器（1）連接氯硅烷液體緩沖罐（2）和氯化氫和氫氣氣體壓縮機(jī)（4），所述氯化氫和氫氣氣體壓縮機(jī)（4）與吸收塔（5）相連，所述氯硅烷液體緩沖罐（2）與泵（3）相連，所述吸收塔（5）通過低溫氯硅烷液體輸送管一（8）與換熱器（6）相連，所述換熱器（6）通過高溫氯硅烷液體輸送管一（9）和解析塔（7）相連，所述解析塔（7）通過高溫氯硅烷液體輸送管二（10）與換熱器（6）相連，所述換熱器（6）通過低溫氯硅烷液體輸送管二（11）與吸收塔（5）相連，其特征在于：所述泵（3）通過低溫氯硅烷液體輸送管三（12）與換熱器（6）相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅尾氣中氯硅烷循環(huán)利用系統(tǒng)，其特征在于：所述低溫氯硅烷液體輸送管一（8）和低溫氯硅烷液體輸送管二（11）的內(nèi)徑為為150毫米。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅尾氣中氯硅烷循環(huán)利用系統(tǒng)，其特征在于：所述高溫氯硅烷液體輸送管一（9）和高溫氯硅烷液體輸送管二（10）的內(nèi)徑為為100毫米。
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