[實用新型]一種HCl尾氣中氯硅烷去除系統有效
| 申請號： | 201320104283.5 | 申請日： | 2013-03-07 |
| 公開（公告）號： | CN203222476U | 公開（公告）日： | 2013-10-02 |
| 發明（設計）人： | 游鵬程;王啟海;陳長海;胡有平;陳義龍 | 申請（專利權）人： | 江西景德半導體新材料有限公司 |
| 主分類號： | C01B7/07 | 分類號： | C01B7/07 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 333000 江*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 hcl 尾氣 硅烷 去除 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種HCl尾氣中氯硅烷去除系統，包括洗滌罐（3）、文丘里洗滌器（2）、液位計（5）、泵（9）、過濾器（8）、HCl尾氣輸入管道（1）、飽和濃酸輸入管道（6），飽和濃酸循環管道（10）、飽和濃酸輸出管道（7）、HCl氣體排出管道（4）、固體顆粒排出管道（11），其特征在于：所述洗滌罐（3）頂部設置有文丘里洗滌器（2）和HCl氣體排出管道（4），側部設置有液位計（5），底部設置有飽和濃酸輸出管道（7），所述文丘里洗滌器（2）與HCl尾氣輸入管道（1）和飽和濃酸循環管道（10）相連接，所述飽和濃酸循環管道（10）上設置有泵（9）、過濾器（8）和固體顆粒排出管道（11），所述飽和濃酸輸出管道（7）與飽和濃酸循環管道（10）和飽和濃酸輸入管道（6）相連接。
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