[實用新型]一種合成三氯氫硅用導熱油過濾循環系統有效
| 申請號： | 201320104279.9 | 申請日： | 2013-03-07 |
| 公開（公告）號： | CN203222487U | 公開（公告）日： | 2013-10-02 |
| 發明（設計）人： | 李俊;朱寶毅;陳惟勤;劉芳 | 申請（專利權）人： | 江西景德半導體新材料有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 333000 江*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 合成 三氯氫硅用 導熱油 過濾 循環系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種合成三氯氫硅用導熱油過濾循環系統，包括導熱油加熱裝置（4）、導熱油降溫裝置（5）、流化床反應器（2）、指形管（1）、導熱油泵（6），所述導熱油加熱裝置（4）通過管道一（9）與設置在流化床反應器（2）內的指形管（1）相連接，所述指形管（1）通過管道二（12）與導熱油降溫裝置入油管（10）和導熱油泵入油管（11）相連接，所述導熱油降溫裝置出油管（13）和導熱油泵出油管（14）分別與管道一（9）相連，其特征在于：所述管道二（12）上連接有過濾器（3）。
2.根據權利要求1所述的一種合成三氯氫硅用導熱油過濾循環系統，其特征在于：所述導熱油降溫裝置入油管（10）上設置有閥門一（7）。
3.根據權利要求1所述的一種合成三氯氫硅用導熱油過濾循環系統，其特征在于：所述導熱油泵入油管（11）上設置有閥門二（8）。
4.根據權利要求1-3任一所述的一種合成三氯氫硅用導熱油過濾循環系統，其特征在于：所述過濾器（3）的目數為80~150目、容積為0.8~1.2立方米。
5.根據權利要求1-3任一所述的一種合成三氯氫硅用導熱油過濾循環系統，其特征在于：所述導熱油加熱裝置（4）為電加熱器。
6.根據權利要求1-3任一所述的一種合成三氯氫硅用導熱油過濾循環系統，其特征在于：所述導熱油降溫裝置（5）為蒸汽發生器。
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