[實用新型]雙頭激光蝕刻機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320102765.7 | 申請日： | 2013-03-07 |
| 公開（公告）號： | CN203140978U | 公開（公告）日： | 2013-08-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 胡兵;應(yīng)花山 | 申請（專利權(quán)）人： | 武漢拓普銀光電技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/36 | 分類號： | B23K26/36 |
| 代理公司： | 武漢開元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 42104 | 代理人： | 黃行軍 |
| 地址： | 430205 湖北省武漢市東湖*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 激光 蝕刻 | ||
1.一種雙頭激光蝕刻機，包括機架、工控機、顯示器、激光發(fā)生系統(tǒng)、振鏡、真空吸附平臺、CCD定位系統(tǒng)、X軸運動系統(tǒng)、Y軸運動系統(tǒng)和Z軸運動系統(tǒng)，所述工控機、顯示器、激光發(fā)生系統(tǒng)、X軸運動系統(tǒng)、Y軸運動系統(tǒng)和Z軸運動系統(tǒng)都安裝在機架上；所述真空吸附平臺由X軸運動系統(tǒng)、Y軸運動系統(tǒng)驅(qū)動，真空吸附平臺上吸附有ITO薄膜；CCD定位系統(tǒng)固定在Z軸運動系統(tǒng)底部與工控機電連接，其特征在于：所述振鏡包括第一振鏡和第二振鏡，第一振鏡和第二振鏡并排安裝在Z軸運動系統(tǒng)上，位于真空吸附平臺上方，第一振鏡和第二振鏡底部分別設(shè)有第一透鏡和第二透鏡。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙頭激光蝕刻機，其特征在于：所述真空吸附平臺固定在Y軸運動系統(tǒng)上，位于X軸運動系統(tǒng)上方；所述Y軸運動系統(tǒng)安裝在X軸運動系統(tǒng)上，并交叉呈十字狀，X軸運動系統(tǒng)安裝在機架上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙頭激光蝕刻機，其特征在于：所述機架上還設(shè)有抽塵裝置，抽塵裝置位于真空吸附平臺與CCD定位系統(tǒng)之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙頭激光蝕刻機，其特征在于：所述Z軸運動系統(tǒng)的升降軸上固定有橫連桿，第一振鏡和第二振鏡并排固定在橫連桿兩端。
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