[實用新型]一種精密定位一維平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320098140.8
• 申請日: 2013-03-04
• 公開（公告）號: CN203179557U
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張璐凡;隆志力;方記文;念龍生;李澤湘
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞華中科技大學(xué)制造工程研究院
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11411
• 代理人: 鄭自群

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種平臺，尤其涉及一種精密定位一維平臺。

背景技術(shù)

定位系統(tǒng)在各種精密機械設(shè)備中起著關(guān)鍵性的作用。隨著微電子制造、各種超精密加工等精密工程的不斷發(fā)展，大行程納米定位平臺在現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中起到越來越重要作用，特別是近幾年一直是精密工程領(lǐng)域的研究熱點之一。特別是在光刻，鍵合等微電子領(lǐng)域中，設(shè)備需要做平面往復(fù)定位運動，這個運動是在高速頻繁啟停狀態(tài)下進行的平臺精確定位運動。在滿足預(yù)定精度的條件下，還要盡可能的提高其速度和加速度，來縮短機械加工時間，減少操作時間，有效的提高生產(chǎn)率。一維定位平臺是實現(xiàn)平面的往復(fù)精確定位的關(guān)鍵基礎(chǔ)。

目前國內(nèi)的長行程超精密的定位主要是通過滾珠絲杠與壓電驅(qū)動器或者直線電機與壓電驅(qū)動器等來完成。這些定位很難同時實現(xiàn)高加速度、高速、長行程和超精密定位。這對于現(xiàn)代化的微電子制造領(lǐng)域的應(yīng)用具有一定的局限性。

實用新型內(nèi)容

針對上述問題，本實用新型的目的在于提供一種精密定位一維平臺，該精密定位一維平臺解決了現(xiàn)有技術(shù)無法同時實現(xiàn)高加速、高速和長行程的精密定位問題。

本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的：

一種精密定位一維平臺，其特征在于：包括底座、設(shè)置于所述底座上的運動機構(gòu)和定位平臺，所述運動機構(gòu)包括電機、設(shè)置于所述電機上的連接架和設(shè)置于所述連接架上的壓電驅(qū)動器，所述定位平臺與所述壓電驅(qū)動器連接。

優(yōu)選地，所述電機為音圈電機。

優(yōu)選地，所述壓電驅(qū)動器為壓電陶瓷驅(qū)動器。

優(yōu)選地，還包括與所述運動機構(gòu)上下連接的緩沖減振臺，所述緩沖減振臺包括上底座、與所述上底座連接的下底座。

進一步的，所述上底座設(shè)置有滑塊，所述上底座中部設(shè)置有緩沖減振擋塊。

進一步的，所述下底座設(shè)置有與所述滑塊相配合的導(dǎo)軌，所述下底座中部設(shè)置有緩沖裝置和容納所述緩沖減振擋塊的安裝孔。

進一步的，所述緩沖裝置包括導(dǎo)桿、與所述導(dǎo)桿一端連接的導(dǎo)桿擋塊、與所述導(dǎo)桿另一端連接的導(dǎo)桿鎖、套設(shè)在所述導(dǎo)桿外部的彈性件。

更進一步的，所述彈性件為彈簧。

優(yōu)選地，所述定位平臺包括與所述壓電驅(qū)動器連接的平臺連接架、與所述平臺連接架連接的定位板、設(shè)置于所述定位板下部的平臺底座、設(shè)置于所述平臺底座兩側(cè)的運動測量光柵尺。

優(yōu)選地，所述底座為大理石底座。

本實用新型產(chǎn)生的有益效果是：本實用新型通過把音圈電機與壓電驅(qū)動器通過連接架連接起來形成運動機構(gòu)，將運動機構(gòu)與定位平臺緊固連接，且運動機構(gòu)與緩沖減振臺緊固連接，在音圈電機實現(xiàn)高加速、高速和長行程的同時，通過壓電驅(qū)動器補償音圈電機的誤差，同時通過緩沖減振臺來消除音圈電機的在運動過程中的振動，最終實現(xiàn)高加速、高速、長行程和超精密定位的一維運動。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型一種精密定位一維平臺一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型一種精密定位一維平臺一個實施例運動機構(gòu)的放大結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型一種精密定位一維平臺一個實施例減震臺的放大結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型一種精密定位一維平臺一個實施例上底座的放大結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實用新型一種精密定位一維平臺一個實施例下底座的放大結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實用新型一種精密定位一維平臺一個實施例定位平臺的放大結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1運動機構(gòu)；11音圈電機；12連接架；13壓電驅(qū)動器；2定位平臺；21平臺連接架；22定位板；23第一運動測量光柵尺；24第二運動測量光柵尺；25平臺底座；3緩沖減振臺；31上底座；311滑塊；312緩沖減振擋塊；32下底座；321導(dǎo)軌；322安裝孔；323導(dǎo)桿；324導(dǎo)桿擋塊；325導(dǎo)桿鎖；326彈簧；327彈簧擋片；4大理石底座。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。