[實(shí)用新型]一種同軸宏微復(fù)合直線運(yùn)動平臺裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320094304.X
• 申請日: 2013-03-01
• 公開（公告）號: CN203092144U
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊志軍;白有盾;陳新;高健;陳新度;劉冠峰;李克天;李澤湘;楊海東
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: B23Q1/34
• 分類號: B23Q1/34;B23Q1/26;B23Q17/24;B23Q23/00
• 代理公司: 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 44102
• 代理人: 林麗明

一種同軸宏微復(fù)合直線運(yùn)動平臺裝置，其特征在于包括有宏運(yùn)動裝置、微運(yùn)動裝置、控制裝置和位置檢測裝置，其中宏運(yùn)動裝置包括有伺服驅(qū)動器（1）、直線驅(qū)動模塊、直線導(dǎo)軌（2）、底座（4）和宏動工作平臺（5），伺服驅(qū)動器（1）通過直線驅(qū)動模塊與直線導(dǎo)軌（2）連接，直線導(dǎo)軌（2）裝設(shè)在底座（4）上，宏動工作平臺（5）安裝在直線導(dǎo)軌（2）上，微運(yùn)動裝置包括有高精度微動驅(qū)動器及柔性鉸鏈放大機(jī)構(gòu)，柔性鉸鏈放大機(jī)構(gòu)包括有柔性鉸鏈（8）、微動工作平臺（9）、框架（10），其中柔性鉸鏈（8）安裝在框架（10）上，微動工作平臺（9）與柔性鉸鏈（8）連接，高精度微動驅(qū)動器驅(qū)動柔性鉸鏈（8）運(yùn)動，微動工作平臺（9）上安放工作負(fù)載，所述微運(yùn)動裝置通過框架（10）固定在宏動工作平臺（5）上，用來檢測宏動工作平臺（5）及微動工作平臺（9）相對于底座（4）的位移信息的位置檢測裝置包括宏動位移檢測裝置和微動位移檢測裝置，微動位移檢測裝置由固定在宏運(yùn)動裝置內(nèi)底座（4）上的光柵尺（13）和固定在微動工作平臺（9）上的光柵尺讀數(shù)頭（11）構(gòu)成；宏動位移檢測裝置由連接在伺服驅(qū)動器（1）上的編碼盤構(gòu)成，控制裝置與伺服驅(qū)動器（1）及高精度微動驅(qū)動器為電連接，控制裝置向伺服驅(qū)動器（1）及高精度微動驅(qū)動器發(fā)出位移控制指令，實(shí)現(xiàn)微運(yùn)動裝置對宏運(yùn)動裝置的精度補(bǔ)償。

根據(jù)權(quán)利要求1所述的同軸宏微復(fù)合直線運(yùn)動平臺裝置，其特征在于：所述伺服驅(qū)動器（1）為伺服電機(jī)。

根據(jù)權(quán)利要求1所述的同軸宏微復(fù)合直線運(yùn)動平臺裝置，其特征在于：所述直線驅(qū)動模塊為絲杠螺母傳動機(jī)構(gòu)，包括有絲杠（12）及裝設(shè)在絲杠（12）上的螺母，絲杠（12）與伺服電機(jī)的輸出軸連接，螺母與絲杠（12）組成螺旋傳動副，直線導(dǎo)軌（2）與螺母連接。

根據(jù)權(quán)利要求1所述的同軸宏微復(fù)合直線運(yùn)動平臺裝置，其特征在于：所述高精度微動驅(qū)動器為壓電陶瓷驅(qū)動器或音圈電機(jī)。

根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的同軸宏微復(fù)合直線運(yùn)動平臺裝置，其特征在于：所述柔性鉸鏈放大機(jī)構(gòu)內(nèi)的柔性鉸鏈的支干部分的寬度比鉸鏈部分的寬度寬，每個支干的兩個端部為鉸鏈部位；鉸鏈部位的輪廓線為對稱的曲線過渡。

根據(jù)權(quán)利要求5所述的同軸宏微復(fù)合直線運(yùn)動平臺裝置，其特征在于：所述柔性鉸鏈放大機(jī)構(gòu)內(nèi)包含至少一個變形恢復(fù)部件。

根據(jù)權(quán)利要求6所述的同軸宏微復(fù)合直線運(yùn)動平臺裝置，其特征在于：所述柔性鉸鏈（8）及與柔性鉸鏈（8）連接的微動工作平臺（9）與宏運(yùn)動裝置無接觸。

根據(jù)權(quán)利要求7所述的同軸宏微復(fù)合直線運(yùn)動平臺裝置，其特征在于：所述柔性鉸鏈放大機(jī)構(gòu)由一整塊材料加工而成。