[實用新型]一種鉻基石英晶體微天平傳感器有效
| 申請號： | 201320090048.7 | 申請日： | 2013-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN203132941U | 公開（公告）日： | 2013-08-14 |
| 發明（設計）人： | 曹忠;曹婷婷;高妮;羅永豐;龍姝 | 申請（專利權）人： | 長沙理工大學 |
| 主分類號： | G01N5/00 | 分類號： | G01N5/00;C23C14/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 410004 湖南省長沙市雨花區萬家*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基石 晶體 天平 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種鉻基石英晶體微天平傳感器，其特征是：該傳感器包括一個石英晶體片(1)，所述石英晶體片(1)表面是鍍鉻膜層(2)，所述鍍鉻膜層(2)表面是鍍金膜層(3)，形成一種鉻基石英晶體微天平傳感器。
2.根據權利要求1所述的石英晶體微天平傳感器，其特征在于所述鍍鉻膜層(2)厚度為1?~?50?nm。
3.?根據權利要求1所述的石英晶體微天平傳感器，其特征在于所述鍍金膜層(3)厚度為20?~?400?nm。
4.?根據權利要求1所述的石英晶體微天平傳感器，其特征在于所述石英晶體片(1)為AT切型石英晶體，其基頻為4?~?50?MHz。
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