[實用新型]一種平面度高精度測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320087518.4
• 申請日: 2013-02-26
• 公開（公告）號: CN203216464U
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 呂紹林;馬金勇;孫衛(wèi)東;李明;趙永存
• 申請（專利權(quán)）人: 吳江市博眾精工科技有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246
• 代理人: 連圍

技術(shù)領(lǐng)域：

本實用新型涉及一種平面度測量設(shè)備，更具體的說是涉及一種非接觸式對平面度高精度測量的設(shè)備。?

背景技術(shù)：

有許多電子產(chǎn)品的表面都需要進(jìn)行平面度檢測，現(xiàn)有技術(shù)的平面度檢測都使用平面度檢測儀對產(chǎn)品表面進(jìn)行測量，將被測實際表面與理想平面進(jìn)行比較，兩者之間的線值距離即為平面度誤差值；或通過測量實際表面上若干點的相對高度差，再換算以線值表示的平面度誤差值。這種平面度檢測儀檢測需要接觸產(chǎn)品表面，需要重復(fù)性量測，這樣數(shù)據(jù)的真實性不能保證，測量精度低，量測范圍受限，從而增加了生產(chǎn)成本。?

實用新型內(nèi)容：

本實用新型的目的是提供一種平面度高精度測量裝置，為非接觸式測量，量測范圍大，精度高，重復(fù)性好，保證了數(shù)據(jù)的真實性。?

本實用新型的技術(shù)解決措施如下：?

一種平面度高精度測量裝置，它包括底板，所述底板的左、右兩側(cè)各安裝一支座，底板的中間裝有一載具模組；所述兩個支座上各安裝一直線馬達(dá)，分別為左側(cè)直線馬達(dá)和右側(cè)直線馬達(dá)；所述左、右側(cè)直線馬達(dá)之間連接一個橫板；所述橫板上活動連接一激光量測裝置；?所述左、右側(cè)直線馬達(dá)的外側(cè)面上連接著光電傳感器，橫板的左右兩側(cè)底部各安裝一個與光電傳感器相配合的感應(yīng)片；所述右側(cè)直線馬達(dá)上安裝一坦克鏈槽a，坦克鏈槽a內(nèi)配合安裝一坦克鏈a，且坦克鏈槽a與橫板之間通過坦克鏈支撐板a連接在一起；所述橫板上安裝一坦克鏈槽b，坦克鏈槽b內(nèi)配合安裝一坦克鏈b，且坦克鏈槽b與激光量測裝置之間通過坦克鏈支撐板b連接在一起。?

上述技術(shù)方案中，所述底板和支座的材質(zhì)為大理石。?

上述技術(shù)方案中，所述載具模組上裝有感應(yīng)產(chǎn)品有無的傳感器。?

本實用新型的有益效果在于：?

本實用新型被測產(chǎn)品放入載具模組定位后，此時激光量測裝置在直線馬達(dá)的帶動下可以進(jìn)行前后移動，直線馬達(dá)前后運動距離由光電傳感器確定，激光量測裝置可以在橫板上左右移動，通過直線馬達(dá)將激光量測裝置移動到指定坐標(biāo)進(jìn)行測試，然后將測試數(shù)據(jù)上傳到控制系統(tǒng)，通過軟件的數(shù)據(jù)處理，將測試值直觀的顯示出來。本實用新型為非接觸式測量，量測范圍大，精度高，重復(fù)性好，由于是非接觸式，保證了數(shù)據(jù)的真實性。?

附圖說明：

下面結(jié)合附圖對本實用新型做進(jìn)一步的說明：?

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖1中：1—底板；2—支座；3—載具模組；4—左側(cè)直線馬達(dá)；5—右側(cè)直線馬達(dá)；6—橫板；7—激光量測裝置；8—光電傳感器；9—感應(yīng)片；10—坦克鏈槽a；11—坦克鏈a；12—坦克鏈支撐板a；?13—坦克鏈槽b；14—坦克鏈b；15—坦克鏈支撐板b；16—傳感器。?

具體實施方式：

實施例，見附圖1，一種平面度高精度測量裝置，它包括底板1，所述底板的左、右兩側(cè)各安裝一支座2，底板的中間裝有一載具模組3；所述兩個支座上各安裝一直線馬達(dá)，分別為左側(cè)直線馬達(dá)4和右側(cè)直線馬達(dá)5；所述左、右側(cè)直線馬達(dá)之間連接一個橫板6；所述橫板上活動連接一激光量測裝置7；所述左、右側(cè)直線馬達(dá)的外側(cè)面上連接著光電傳感器8，橫板的左右兩側(cè)底部各安裝一個與光電傳感器相配合的感應(yīng)片9；所述右側(cè)直線馬達(dá)上安裝一坦克鏈槽a10，坦克鏈槽a內(nèi)配合安裝一坦克鏈a11，且坦克鏈槽a與橫板之間通過坦克鏈支撐板a12連接在一起；所述橫板上安裝一坦克鏈槽b13，坦克鏈槽b內(nèi)配合安裝一坦克鏈b14，且坦克鏈槽b與激光量測裝置之間通過坦克鏈支撐板b15連接在一起。?

所述底板和支座的材質(zhì)為大理石。?

所述載具模組上裝有感應(yīng)產(chǎn)品有無的傳感器16。?

本實用新型的工作原理：被測產(chǎn)品放入載具模組定位后，此時激光量測裝置在直線馬達(dá)的帶動下可以進(jìn)行前后移動，直線馬達(dá)前后運動距離由光電傳感器確定，激光量測裝置可以在橫板上左右移動，通過直線馬達(dá)將激光量測裝置移動到指定坐標(biāo)進(jìn)行測試，然后將測試數(shù)據(jù)上傳到控制系統(tǒng)，通過軟件的數(shù)據(jù)處理，將測試值直觀的顯示出來。?

上述實施例是對本實用新型進(jìn)行的具體描述，只是對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步說明，不能理解為對本實用新型保護(hù)范圍的限定，本領(lǐng)域?的技術(shù)人員根據(jù)上述實用新型的內(nèi)容作出一些非本質(zhì)的改進(jìn)和調(diào)整均落入本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。?