[實用新型]一種鍍膜舟

有效

• 申請號: 201320085799.X
• 申請日: 2013-02-25
• 公開（公告）號: CN203103339U
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 余可;王立建;蔡岳莑
• 申請（專利權）人: 浙江昱輝陽光能源江蘇有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/673;C23C16/458
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

一種鍍膜舟，其特征在于，包括至少一個承載單元，所述承載單元上包括凹槽，所述凹槽的側壁與放置在其內部的硅片的邊緣的距離大于0mm，小于或等于2mm。

根據權利要求1所述的鍍膜舟，其特征在于，所述凹槽的側壁與放置在其內部的硅片的邊緣的距離為0.5mm～2mm，包括端點值。

根據權利要求1所述的鍍膜舟，其特征在于，所述凹槽的深度為0.2mm～1mm，包括端點值。

根據權利要求1所述的鍍膜舟，其特征在于，所述承載單元的底部為實心結構。

根據權利要求1所述的鍍膜舟，其特征在于，所述承載單元具有至少一個貫穿所述承載單元底部和所述凹槽底部的開口。

根據權利要求5所述的鍍膜舟，其特征在于，所述開口的數目為一個，所述開口側壁與所述凹槽側壁的距離為15mm～50mm，包括端點值。

根據權利要求1所述的鍍膜舟，其特征在于，所述鍍膜舟為石墨舟。

根據權利要求1所述的鍍膜舟，其特征在于，還包括，位于所述承載單元側壁上表面的至少3個卡扣，且3個卡扣分別位于所述承載單元的3個側壁上表面。

根據權利要求8所述的鍍膜舟，其特征在于，所述卡扣的端部為探針形。