[實用新型]一種硅片自動化學腐蝕機的控制系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320085033.1 | 申請日： | 2013-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN203357453U | 公開（公告）日： | 2013-12-25 |
| 發(fā)明（設計）人： | 靳立輝;王國瑞;于書瀚;張基龍 | 申請（專利權(quán)）人： | 天津市環(huán)歐半導體材料技術有限公司 |
| 主分類號： | B25J9/18 | 分類號： | B25J9/18 |
| 代理公司： | 天津濱?？凭曋R產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12211 | 代理人： | 李莉華 |
| 地址： | 300384 天津市濱海新區(qū)*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 自動 化學 腐蝕 控制系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種硅片自動化學腐蝕機的控制系統(tǒng)，包括機械手，其特征在于：還包括伺服電機、伺服電機驅(qū)動器、伺服驅(qū)動模塊和PLC控制器，所述PLC控制器連接所述伺服驅(qū)動模塊，所述伺服驅(qū)動模塊還與所述伺服電機驅(qū)動器相連，所述伺服電機驅(qū)動器與所述伺服電機相連，所述伺服電機與所述機械手相連。?
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于：所述伺服驅(qū)動模塊與所述伺服電機驅(qū)動器通過光纖傳輸線相連。?
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于：所述伺服電機驅(qū)動器的型號為MR-J3-200B。?
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于：所述伺服驅(qū)動模塊的型號為Qd75MH-1。?
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于：所述伺服電機驅(qū)動器還具有中斷報警端口，與所述伺服電機相連。?
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