[實用新型]一種制備CIGS薄膜太陽能電池用的激光劃刻系統有效
| 申請號： | 201320084490.9 | 申請日： | 2013-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN203184837U | 公開（公告）日： | 2013-09-11 |
| 發明（設計）人： | 丁海;佟鑫 | 申請（專利權）人： | 東旭集團有限公司;成都泰軼斯太陽能科技有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/40 | 分類號： | B23K26/40;B23K26/067;H01L31/18 |
| 代理公司： | 石家莊眾志華清知識產權事務所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人： | 王苑祥 |
| 地址： | 050000 河北*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制備 cigs 薄膜 太陽能電池 激光 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種制備CIGS薄膜太陽能電池用的激光劃刻系統，系統結構中包括激光器（1），其特征在于：在激光器（1）發射出的激光主光路上增設用于將激光分為透射光束（3）及反射光束（4）的半透半反反射鏡（2），在反射光束（4）光路上依次設置第二功率衰減器（4-1）、第一全反反射鏡（4-2）、第一快門（4-3）、第一擴束鏡（4-4）及第二全反反射鏡（4-5）；在透射光束（3）光路上依次設置第三全反反射鏡（3-1）、倍頻器（3-2）、濾波器（3-3）、第一功率衰減器（3-4）、第四全反反射鏡（3-5）、第二快門（3-6）、第二擴束鏡（3-7）及第五全反反射鏡（3-8），反射光束（4）借助反射光束光路形成的光束a（5）與透射光束（3）借助透射光束光路形成的光束b（6）聚焦形成光斑。
2.根據權利要求1所述的一種制備CIGS薄膜太陽能電池用的激光劃刻系統，其特征在于：第二全反反射鏡（4-5）是可移動式全反射鏡。
3.根據權利要求1所述的一種制備CIGS薄膜太陽能電池用的激光劃刻系統，其特征在于：第五全反反射鏡（3-8）是可移動式全反射鏡。
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