[實用新型]一種激光加工裝置

有效

• 申請號: 201320083878.7
• 申請日: 2013-02-25
• 公開（公告）號: CN203197458U
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: 成奎棟
• 申請（專利權）人: 伊歐激光科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/067;G02B27/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種加工裝置，尤其是一種激光加工裝置。

背景技術

現有技術中激光加工裝置受到激光光源的限制，發射出一定發射頻率的激光束，當激光束打到基板上形成一定間距的激光點，當激光加工裝置高速運行時，在其發射頻率一定的情況下，激光點之間的距離就會變大，目前激光加工裝置利用兩個分束器和兩個反射鏡，可以將激光發射頻率等同于增大兩倍的效果，以減小激光點的距離，但是效果不明顯，仍不能滿足激光加工裝置高速運轉的情況。

發明內容

本實用新型目的是：提供一種安裝設備簡單，激光點間距減小的激光加工裝置。

本實用新型的技術方案是：一種激光加工裝置，包括激光發射器，反射鏡，透鏡以及基板，其特征在于，還包括激光分束器，所述激光分束器位于透鏡的焦點上，所述激光發射器發射出激光束后，經反射鏡反射后射入激光分束器，激光束經激光分束器射出多道具有相同光學特性且間距角度相同的激光束，該多道激光束射入透鏡后形成間距相等的平行激光束，該平行激光束射到基板上形成間距相等的激光點。

優選地，所述透鏡為平場透鏡。

優選地，所述基板為可移動基板。

本實用新型減小激光點間距所運用的原理類似于增大了激光的發射頻率，基板的移送速度、激光的發射頻率、透鏡的焦點距離、及入射光的角度之間的關系式如下，即激光點距離(um)?=?移送速度(um/s)?/頻率(1/s)?，當透鏡為F-theta透鏡，即平場透鏡時，點距離?(um)?=?焦點距離?(um)*入射角(radian)，本實用新型利用激光分束器做出均等的強度、均等的間距角度的多重激光束即實現兩倍、三倍、四倍等以上的激光發射頻率的增大效果。

本實用新型的優點是：通過激光分束器分離出多道激光束，從而減小激光點間距，實現兩倍、三倍、四倍等以上的激光發射頻率的增大效果。

附圖說明

下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述：

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型激光點距離增大四倍示意圖；

圖3為本實用新型激光點距離增大五倍示意圖；

其中：1激光發射器，2反射鏡，3激光分束器，4透鏡，5基板。

具體實施方式

實施例：參照圖1，2，3所示，一種激光加工裝置，包括激光發射器1，反射鏡2，激光分束器3，透鏡4以及基板5，該激光分束器3位于透鏡4的焦點上，該透鏡4為平場透鏡，該基板5為可移動基板，激光發射器1發射出激光束后，經反射鏡2反射后射入激光分束器3，激光束經激光分束器3射出多道具有相同光學特性且間距角度相同的激光束，該多道激光束射入透鏡4后形成間距相等的平行激光束，該平行激光束射到基板5上形成間距相等的激光點。

本實用新型減小激光點間距所運用的原理類似于增大了激光的發射頻率，基板5的移送速度、激光的發射頻率、透鏡4的焦點距離、及入射光的角度之間的關系式如下，即激光點距離(um)?=?移送速度(um/s)?/頻率(1/s)?，當透鏡4為F-theta透鏡時，激光點距離?(um)?=?焦點距離?(um)*入射角(radian)，本實用新型利用激光分束器3做出均等的強度、均等的間距角度的多重光斑即實現兩倍、三倍、四倍等以上的激光發射頻率的增大效果。

當激光的移送速度為1m/s，激光的發射頻率為10kHz時，根據公式：激光點距離(um)?=?移送速度(um/s)?/頻率(1/s)，激光點之間的距離為100?，這時，若使用透鏡的焦距為100mm時，利用激光分束器衍射出0.00025radian間距的4道激光或0.0002radian間距的5道激光，就可以得到發射頻率4倍、5倍增大的效果。

上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人能夠了解本實用新型的內容并據以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍。凡根據本實用新型主要技術方案的精神實質所做的修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。