[實用新型]硅舟

有效

• 申請號: 201320082841.2
• 申請日: 2013-02-22
• 公開（公告）號: CN203150529U
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 張朝坤
• 申請（專利權）人: 深圳深愛半導體股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

技術領域

本實用新型涉及一種半導體元件制造使用的裝置，特別是涉及一種硅舟。

背景技術

在半導體器件加工制造領域，常常需要用到硅舟。硅舟主要用于盛放硅片，并通過硅舟將硅片放入擴散爐中進行處理。在將裝有硅片的硅舟放入擴散爐內進行加工之前，一般需要將熱偶插入到擴散爐內以檢測擴散爐內的溫度是否合適。在將裝有硅片的硅舟放入擴散爐內進行加工時，擴散爐內的溫度也需要保持在合適的范圍之內。而此時擴散爐內的溫度卻無法進行實時檢測。這樣就可能出現擴散爐內溫度不在合適的溫度范圍內，導致加工出來的硅片不符合要求或者硅片質量較低的現象。

實用新型內容

基于此，有必要提供一種可以實時監控擴散爐內溫度的硅舟。

一種硅舟，所述硅舟包括舟體，所述舟體的上沿設有容納熱偶的凹槽。

在其中一個實施例中，所述凹槽為U形凹槽或半圓形凹槽。

在其中一個實施例中，所述舟體為U形舟體或半圓形舟體。

在其中一個實施例中，所述舟體的兩個上沿均設有容納熱偶的凹槽。

上述硅舟在舟體的上沿設置容納熱偶的凹槽，這樣當使用該硅舟時，凹槽內可以設置熱偶，硅舟被放入擴散爐內時就可以實時監控擴散爐內的溫度，從而方便控制擴散爐內的溫度，提高硅片的加工質量。

附圖說明

圖1為一個實施例的硅舟的立體圖；

圖2為圖1所示硅舟應用于擴散爐內時的示意圖。

具體實施方式

請參考圖1，一個實施方式提供了一種硅舟110。該硅舟110包括舟體112，舟體112的上沿設有容納熱偶140的凹槽114。該硅舟110的舟體112可以為U形舟體或半圓形舟體。舟體112上的凹槽114可以為U形凹槽或半圓形凹槽。另外，該硅舟110的舟體112的兩個上沿均設有容納熱偶140的凹槽114。也就是說，該硅舟110具有兩個凹槽114。這樣該硅舟110可以根據實際需要同時設置兩個熱偶140或一個熱偶140。當該硅舟110采用兩個熱偶140時可以更加準確的得到該硅舟110周圍的溫度，避免出現硅舟110上部分區域溫度過高，另一部分溫度正常而導致檢測結果不準確的現象發生。

請參考圖2，使用時，該硅舟110內會放置硅片130，并在凹槽114內放置測量溫度的熱偶140。當將該硅舟110放入擴散爐120內對硅舟110上的硅片130進行加工時，凹槽114內的熱偶140可以實時監控擴散爐120內的溫度。這樣當擴散爐120出現溫度異常時可以盡快調整擴散爐120內的溫度。這樣就可以加工出質量更高、技術參數更加一致的硅片。

該硅舟在舟體的上沿設置容納熱偶的凹槽，這樣當使用該硅舟時，凹槽內可以設置熱偶，硅舟被放入擴散爐內時就可以實時監控擴散爐內的溫度，從而方便控制擴散爐內的溫度，提高硅片的加工質量。

以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。因此，本實用新型專利的保護范圍應以所附權利要求為準。