[實用新型]晶圓減薄加工固定裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320080824.5
• 申請日: 2013-02-21
• 公開（公告）號: CN203165872U
• 公開（公告）日: 2013-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳孟端
• 申請（專利權(quán)）人: 正恩科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L33/00
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;李靜

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及發(fā)光二極管晶圓，尤其涉及發(fā)光二極管晶圓的固定裝置。

背景技術(shù)

請參閱圖1與圖2所示，發(fā)光二極管晶圓1在制造完成之后，必須進行晶圓減薄加工，其包含研磨與拋光操作，以進行后續(xù)的晶圓切割、封裝等操作。

已知發(fā)光二極管晶圓1在減薄加工時，必須加以固定不動，由于發(fā)光二極管晶圓1的厚度相當?shù)谋。瑸楸苊饬芽p或破片，無法使用一般半導體工藝使用的真空吸附固定裝置，已知為將多個發(fā)光二極管晶圓1利用固定臘2黏著固定于一圓盤3上，以進行研磨與拋光。然而此固定方式，在研磨及拋光操作完畢之后，必須使用鍬子將被固定臘2固定的發(fā)光二極管晶圓1翹出，此一作業(yè)若施力稍有不當，極易使發(fā)光二極管晶圓1產(chǎn)生破片或裂縫，其為目前發(fā)光二極管晶圓1提升工藝良率的瓶頸之一。

請再參閱圖3所示，為解決上述已知固定方式的問題，已有人利用一真空產(chǎn)生裝置4以及一多孔性吸附隔墊5來吸附固定發(fā)光二極管晶圓1，其中該多孔性吸附隔墊5具有多個交錯且貫通的氣孔流道（圖未示）并被一固定環(huán)6所圍繞與固定，并該多孔性吸附隔墊5供放置該發(fā)光二極管晶圓1，據(jù)此利用該真空產(chǎn)生裝置4產(chǎn)生負壓，并通過氣孔流道的分壓，于該多孔性吸附隔墊5產(chǎn)生均勻的吸力，而避免發(fā)光二極管晶圓1產(chǎn)生破片或裂縫。

然而，此一固定方式，由于該多孔性吸附隔墊5利用分散氣流來解決局部吸力過強的問題，然而相對的其可以產(chǎn)生的氣流相當?shù)谋∪酰虼嗽谶M行研磨與拋光操作時，發(fā)光二極管晶圓1有可能會因高速移動或旋轉(zhuǎn)所產(chǎn)生的慣性力而偏移，其會造成工藝上的困擾，而降低工藝良率。

實用新型內(nèi)容

于是，本新型的主要目的在于披露一種晶圓減薄加工固定裝置，其可直接利用一般吸盤來吸附固定該晶圓，而可確實固定發(fā)光二極管，避免該發(fā)光二極管晶圓因慣性力而偏移。

基于上述目的，本實用新型為一種晶圓減薄加工固定裝置，用于固定至少一晶圓，包含一膠膜、一鐵環(huán)與一吸盤，其中該膠膜具有一黏貼面與一底面，該膠膜的黏貼面固定于該鐵環(huán)下，并且該膠膜的底面在該鐵環(huán)內(nèi)形成一頂靠處，且該膠膜的黏貼面相對于該頂靠處的區(qū)域形成有至少一黏貼處，該至少一晶圓黏貼于該至少一黏貼處，該吸盤具有提供負壓的一吸附面，該吸附面供接觸該頂靠處。

進一步地，吸盤具有位于外側(cè)的一外環(huán)區(qū)域與位于內(nèi)側(cè)的一中心區(qū)域，外環(huán)區(qū)域供放置鐵環(huán)，中心區(qū)域供設(shè)置吸附面，且外環(huán)區(qū)域的高度低于中心區(qū)域的高度。

進一步地，外環(huán)區(qū)域與中心區(qū)域的高度差大于鐵環(huán)的厚度。

進一步地，膠膜的黏貼面涂布有一黏膠。

據(jù)此，本實用新型通過使該至少一晶圓黏貼固定于該膠膜上，即可直接利用該吸盤來吸附該膠膜而間接固定該晶圓，其形成一種可快速固定及解除固定并兼具高良率的發(fā)光二極管晶圓固定裝置，而可供晶圓減薄加工時使用，以滿足使用上的需要。

附圖說明

圖1為已知發(fā)光二極管晶圓結(jié)構(gòu)圖。

圖2為已知發(fā)光二極管晶圓固定示意圖。

圖3為另一已知發(fā)光二極管晶圓固定示意圖。

圖4為本實用新型結(jié)構(gòu)分解圖。

圖5為本實用新型結(jié)構(gòu)組合剖視圖。

圖6為本實用新型吸附晶圓示意圖。

圖7為本實用新型實際實施示意圖。

具體實施方式

有關(guān)本實用新型的詳細說明及技術(shù)內(nèi)容，現(xiàn)就配合圖式說明如下：

請參閱圖4、圖5與圖6所示，本實用新型為一種晶圓減薄加工固定裝置，用于固定至少一晶圓10，其包含一膠膜20、一鐵環(huán)30與一吸盤40，其中該膠膜20具有一黏貼面21與一底面22，而該膠膜20的黏貼面21固定于該鐵環(huán)30下，該膠膜20與該鐵環(huán)30可以為黏結(jié)固定在一起，并該膠膜20的底面22于該鐵環(huán)30內(nèi)形成一頂靠處221。

該膠膜20的黏貼面21相對該頂靠處221的區(qū)域形成至少一黏貼處211，而該至少一晶圓10黏貼于該至少一黏貼處211，且該膠膜20的該黏貼面21涂布有一黏膠23，以供黏貼該鐵環(huán)30與該晶圓10，其中該黏膠23的膠黏度為100~3000克/平方英寸，且膜厚度為5~500微米，可達到較佳的黏貼效果，且該黏膠23可以為UV膠、熱解膠、壓克力膠等。