[實用新型]一種晶體生長設備中雙向強化氣體冷卻裝置

有效

• 申請號: 201320079916.1
• 申請日: 2013-02-21
• 公開（公告）號: CN203144557U
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 祁志國;曾向鑫;萬永;肖益波;李忠平;朱紅娣
• 申請（專利權）人: 無錫開日能源科技股份有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06;C30B11/00
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標事務所(普通合伙) 32227
• 代理人: 杜丹盛

1.一種晶體生長設備中雙向強化氣體冷卻裝置，其包括外爐殼，所述外爐殼內布置有坩堝、隔熱籠、頂部加熱器、四周加熱器，所述坩堝、頂部加熱器、四周加熱器均位于所述隔熱籠所形成的腔體內，所述頂部加熱器位于所述坩堝的上方，所述四周加熱器分別位于所述坩堝的四周，所述隔熱籠開有豁口，所述豁口位置設置有底部活動保溫板，其特征在于：所述坩堝的底部支承于氣體冷卻墊塊的上端面，所述氣體冷卻墊塊的內部設計有氣路，所述氣體冷卻墊塊的氣路外接有兩根通氣管，兩根所述通氣管、外部的換熱器、氣體冷卻墊塊的氣路、增壓泵形成閉合循環通路，其中一根所述通氣管外接有流量傳感器、壓力傳感器，所述氣體冷卻墊塊位于所述底部活動保溫板的正上方。

2.根據權利要求1所述的一種晶體生長設備中雙向強化氣體冷卻裝置，其特征在于：所述氣體冷卻墊塊具體為石墨氣體冷卻墊塊。

3.根據權利要求1或2所述的一種晶體生長設備中雙向強化氣體冷卻裝置，其特征在于：兩根所述通氣管的下端分別連接氣體流動換向器后和外部的換熱器、增壓泵形成循環通路。