[實(shí)用新型]真空鍍膜設(shè)備的真空度量測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320077816.5
• 申請(qǐng)日: 2013-02-19
• 公開（公告）號(hào): CN203187748U
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃世壬;孟良;黎勝;賴文波;任常寶;趙子銘;陳官璧;曾昭隆
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 生陽新材料科技（寧波）有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/52
• 分類號(hào): C23C14/52;C23C14/54
• 代理公司: 廣東國欣律師事務(wù)所 44221
• 代理人: 李文

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型與真空鍍膜設(shè)備有關(guān)，特別是指一種真空鍍膜設(shè)備的真空度量測(cè)裝置。

背景技術(shù)

簡單來說，所謂的真空鍍膜是將一待蒸鍍物（例如基板）放到一真空腔體內(nèi)，接著將一蒸鍍?cè)醇訜嶂疗A的狀態(tài)，使蒸鍍?cè)吹臍怏w附著至待蒸鍍物的表面而形成一層薄膜。

為了在整個(gè)制程中確保真空腔體的內(nèi)部都能維持在真空狀態(tài)，通常會(huì)在真空腔體內(nèi)設(shè)置一真空計(jì)，用以量測(cè)真空腔體內(nèi)的真空度，但是因?yàn)檎婵沼?jì)是長期暴露在蒸鍍?cè)吹臍怏w中，所以真空計(jì)的內(nèi)部零件很容易遭到腐蝕損壞而時(shí)常需要維修，一旦真空計(jì)進(jìn)行維修時(shí)會(huì)造成整個(gè)制程受到延宕，進(jìn)而連帶影響生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種真空鍍膜設(shè)備的真空度量測(cè)裝置，其能延長維修周期及使用壽命，并具有良好的維修便利性。

為了達(dá)成上述目的，該真空鍍膜設(shè)備包含有一真空腔體，該真空腔體具有一貫穿內(nèi)、外壁面的安裝孔，本實(shí)用新型真空度量測(cè)裝置包含有一真空計(jì)及一開關(guān)閥，該開關(guān)閥安裝于該真空腔體的安裝孔且位于該真空腔體的外壁面，并與該真空計(jì)連接在一起，當(dāng)該開關(guān)閥開啟時(shí)，該真空腔體與該真空計(jì)之間經(jīng)由該開關(guān)閥的一通道而相互連通，使該真空計(jì)能藉由量測(cè)氣體的物理性質(zhì)而換算成壓力值，以獲得該真空腔體的真空度，當(dāng)該開關(guān)閥關(guān)閉時(shí)，該真空腔體與該真空計(jì)之間互不相通，使該真空計(jì)可以減少接觸到化學(xué)腐蝕氣體的機(jī)會(huì)，以達(dá)到延長維修周期及使用壽命且便于維修操作的目的。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例的立體分解圖。

圖2為本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例的剖視示意圖。

圖3為本實(shí)用新型第二較佳實(shí)施例的剖視示意圖。

圖4類同于圖3，主要顯示不同的安裝位置。

具體實(shí)施方式

為了詳細(xì)說明本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)、特征及功效所在，茲列舉一較佳實(shí)施例并配合下列圖式說明如后。

請(qǐng)參閱圖1，為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例所提供的真空度量測(cè)裝置20，主要使用在一真空鍍膜設(shè)備，真空鍍膜設(shè)備包含有一真空腔體10，真空腔體10的內(nèi)部界定出一腔室12，用以供一待蒸鍍物（圖中未示）進(jìn)行鍍膜制程，此外，真空腔體10具有一貫穿內(nèi)、外壁面的安裝孔14，使得腔室12能夠經(jīng)由安裝孔14與外界相通。請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D1及圖2，本實(shí)用新型真空度量測(cè)裝置20設(shè)置于真空腔體10的上方，并且包含有一真空計(jì)30及一開關(guān)閥40。

真空計(jì)30在本實(shí)施例中為一冷陰極電離真空計(jì)，主要是在低壓狀態(tài)下利用放電電流與氣體壓力之間的關(guān)系進(jìn)行真空度的測(cè)量。由于冷陰極電離真空計(jì)為現(xiàn)有技術(shù)，為了節(jié)省篇幅，在此容不贅述其詳細(xì)結(jié)構(gòu)及工作原理。

開關(guān)閥40在本實(shí)施例中為一角閥而具有呈90度相位差的一進(jìn)氣端42及一出氣端44，并于進(jìn)氣端42與出氣端44之間形成一通道46。開關(guān)閥40位于真空腔體10的外壁面且藉由進(jìn)氣端42及出氣端44分別螺接真空腔體10的安裝孔14及真空計(jì)30，用以控制真空腔體10與真空計(jì)30之間是否能夠經(jīng)由通道46而相互連通。

在鍍膜制程開始之前，先將開關(guān)閥40打開，使真空腔體10與真空計(jì)30之間經(jīng)由通道46而相互連通，此時(shí)的真空計(jì)30會(huì)藉由量測(cè)氣體的物理性質(zhì)而換算成壓力值，以確保真空腔體10的內(nèi)部處于真空狀態(tài)，如圖2所示，接著將開關(guān)閥40關(guān)閉，使真空腔體10與真空計(jì)30之間互不相通，此時(shí)就可以開始進(jìn)行鍍膜制程。在整個(gè)鍍膜制程中，蒸鍍?cè)吹臍怏w會(huì)因?yàn)橥ǖ?6的關(guān)閉而無法進(jìn)入真空計(jì)30內(nèi)，如此便能讓真空計(jì)30的內(nèi)部零件減少接觸到化學(xué)腐蝕氣體的機(jī)會(huì)，以達(dá)到延長維修周期及使用壽命的目的。另外在對(duì)真空計(jì)30進(jìn)行維修時(shí)，只需將開關(guān)閥40關(guān)閉，即可將真空計(jì)30拆下，此過程無需破壞真空腔體10內(nèi)的固有真空度，以達(dá)到維修便利性的目的。

在此需要加以補(bǔ)充說明的是，本實(shí)用新型真空度量測(cè)裝置20可以在真空腔體10的上方設(shè)置兩組真空計(jì)30及兩組開關(guān)閥40，當(dāng)其中一組真空計(jì)30進(jìn)行維修時(shí)，操作人員還是可以使用另外一組真空計(jì)30進(jìn)行鍍膜制程，如圖3所示，以避免鍍膜制程受到延宕而提升生產(chǎn)效率，而且，本實(shí)用新型真空度量測(cè)裝置20也可以在真空腔體10的上方設(shè)置其中一組真空計(jì)30及開關(guān)閥40，并且在真空腔體10的側(cè)邊設(shè)置另外一組真空計(jì)30及開關(guān)閥40，如圖4所示，同樣可以達(dá)到相同的目的。

最后，本實(shí)用新型于前揭實(shí)施例中所揭露的構(gòu)成元件，僅為舉例說明，并非用來限制本案的保護(hù)范圍，其它等效元件的替代或變化，亦應(yīng)為本案申請(qǐng)專利保護(hù)范圍所涵蓋。