[實用新型]抗蝕劑層的薄膜化處理裝置

有效

• 申請號: 201320071960.8
• 申請日: 2013-02-08
• 公開（公告）號: CN203376557U
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發明（設計）人: 豐田裕二;后閑寬彥;川合宣行;入澤宗利;梶谷邦人;中川邦弘
• 申請（專利權）人: 三菱制紙株式會社
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;G03F7/09;H05K3/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 李婷;楊楷

1.一種抗蝕劑層的薄膜化處理裝置，具有：浸漬槽，用于借助堿性水溶液對抗蝕劑層進行薄膜化處理；運送輥對，對形成有抗蝕劑層的基板在浸漬在堿性水溶液中的狀態下進行運送，其特征在于，在抗蝕劑層的薄膜化處理裝置中具有氣泡抑制裝置。

2.根據權利要求1所述的抗蝕劑層的薄膜化處理裝置，其特征在于，具有向浸漬槽供給堿性水溶液的堿性水溶液供給口，氣泡抑制裝置是配置在堿性水溶液供給口和運送輥對之間的氣泡引導板。

3.根據權利要求1或2所述的抗蝕劑層的薄膜化處理裝置，其特征在于，具有：用于向浸漬槽供給堿性水溶液的堿性水溶液供給泵、用于將從浸漬槽溢流的堿性水溶液向堿性水溶液貯藏容器運送的回收管、和貯藏從浸漬槽溢流的堿性水溶液的堿性水溶液貯藏容器，氣泡抑制裝置是配備在堿性水溶液貯藏容器內部的氣泡引導板。

4.根據權利要求1或2所述的抗蝕劑層的薄膜化處理裝置，其特征在于，具有：用于向浸漬槽供給堿性水溶液的堿性水溶液供給泵、用于將從浸漬槽溢流的堿性水溶液向堿性水溶液貯藏容器運送的回收管、和貯藏從浸漬槽溢流的堿性水溶液的堿性水溶液貯藏容器，氣泡抑制裝置是設置在比堿性水溶液貯藏容器中的堿性水溶液的液面靠下方的回收管排出口。

5.如權利要求1所述的抗蝕劑層的薄膜化處理裝置，具有向浸漬槽供給堿性水溶液的堿性水溶液供給口、用于向浸漬槽供給堿性水溶液的堿性水溶液供給泵、用于將從浸漬槽溢流的堿性水溶液向堿性水溶液貯藏容器運送的回收管、和貯藏從浸漬槽溢流的堿性水溶液的堿性水溶液貯藏容器，氣泡抑制裝置是配置在堿性水溶液供給口和運送輥對之間的氣泡引導板、配備在堿性水溶液貯藏容器內部的氣泡引導板、設置在比堿性水溶液貯藏容器中的堿性水溶液的液面靠下方的回收管排出口。

6.根據權利要求1、2、5的任意一項所述的抗蝕劑層的薄膜化處理裝置，其特征在于，具有向浸漬槽供給堿性水溶液的堿性水溶液供給口，氣泡抑制裝置是配備于浸漬槽的超聲波發生裝置。

7.根據權利要求1、2、5的任意一項所述的抗蝕劑層的薄膜化處理裝置，其特征在于，具有：用于向浸漬槽供給堿性水溶液的堿性水溶液供給泵、用于將從浸漬槽溢流的堿性水溶液向堿性水溶液貯藏容器運送的回收管、和貯藏從浸漬槽溢流的堿性水溶液的堿性水溶液貯藏容器，氣泡抑制裝置是配備于堿性水溶液貯藏容器的超聲波發生裝置。

8.根據權利要求1、2、5的任意一項所述的抗蝕劑層的薄膜化處理裝置，其特征在于，具有：用于向浸漬槽供給堿性水溶液的堿性水溶液供給泵、用于將從浸漬槽溢流的堿性水溶液向堿性水溶液貯藏容器運送的回收管、和貯藏從浸漬槽溢流的堿性水溶液的堿性水溶液貯藏容器，氣泡抑制裝置是配備在浸漬槽中的比堿性水溶液的液面低的位置的堿性水溶液噴出口。