[實(shí)用新型]簡(jiǎn)易晶舟承載器具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320070791.6
• 申請(qǐng)日: 2013-02-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203085502U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 卡爾·羅伯特·休斯特
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 硅密（常州）電子設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L21/67
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務(wù)所 32225
• 代理人: 孫彬

技術(shù)領(lǐng)域

?本實(shí)用新型涉及一種簡(jiǎn)易晶舟承載器具，用于半導(dǎo)體清洗設(shè)備中。

背景技術(shù)

目前，在半導(dǎo)體清洗設(shè)備中，社會(huì)上應(yīng)用于高溫高酸堿液內(nèi)晶片清洗的器具非常多，怎樣去設(shè)計(jì)，怎么樣實(shí)現(xiàn)其功能，盡可能的考慮結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作方便，是這個(gè)行業(yè)設(shè)計(jì)人員考慮的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作方便，減少清洗時(shí)的障礙，又能保證工作過(guò)程中的安全性和準(zhǔn)確性的簡(jiǎn)易晶舟承載器具。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種簡(jiǎn)易晶舟承載器具，它包括掛鉤和承載器，承載器上具有兩個(gè)側(cè)板，承載器的頂部還固定有石英棒，石英棒支承在兩個(gè)側(cè)板之間，掛鉤勾住石英棒，承載器上還具有多層承載板組，承載板組由兩個(gè)具有定位孔的承載板組成，承載板組的每個(gè)承載板固定在相應(yīng)的側(cè)板上。

進(jìn)一步，所述的承載器和掛鉤均由石英材料制成。

采用了上述技術(shù)方案后，本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，制作方便，在實(shí)現(xiàn)了功能的同時(shí)，大大減少了清洗時(shí)的障礙，降低成本，另外，考慮到本器具是在強(qiáng)酸堿環(huán)境下清洗，不能產(chǎn)生本體污染，本實(shí)用新型的材料采用高純度的石英材料。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的簡(jiǎn)易晶舟承載器具的工作示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的承載器的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明，

如圖1、2所示，一種簡(jiǎn)易晶舟承載器具，它包括掛鉤1和承載器2，承載器2上具有兩個(gè)側(cè)板2-1，承載器2的頂部還固定有石英棒2-2，石英棒2-2支承在兩個(gè)側(cè)板2-1之間，掛鉤1勾住石英棒2-2，承載器2上還具有多層承載板組，承載板組由兩個(gè)具有定位孔的承載板2-3組成，承載板組的每個(gè)承載板2-3固定在相應(yīng)的側(cè)板2-1上。

承載器2和掛鉤1均由石英材料制成。

本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，制作方便，在實(shí)現(xiàn)了功能的同時(shí)，大大減少了清洗時(shí)的障礙，降低成本，另外，考慮到本器具是在強(qiáng)酸堿環(huán)境下清洗，不能產(chǎn)生本體污染，本實(shí)用新型的材料采用高純度的石英材料。?

以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。