[實用新型]等離子化學氣相沉積設備用掛鉤有效
| 申請號： | 201320067922.5 | 申請日： | 2013-02-05 |
| 公開（公告）號： | CN203144510U | 公開（公告）日： | 2013-08-21 |
| 發明（設計）人： | 任軍利;馬章彥;溫奎;邢國政;楊雷;王步峰;陳斌 | 申請（專利權）人： | 潤峰電力有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/00 | 分類號： | C23C16/00 |
| 代理公司： | 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221 | 代理人： | 劉乃東 |
| 地址： | 277600 山東省濟*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子 化學 沉積 備用 掛鉤 | ||
【權利要求書】：
1.一種等離子化學氣相沉積設備用掛鉤，其特征是，包括左掛鉤、右掛鉤，所述左掛鉤、右掛鉤為薄板，左掛鉤、右掛鉤通過中間薄板連接，掛鉤的頂部設有凸臺，凸臺下部設有卡槽，掛鉤下部設有折彎鉤，折彎鉤的末端設有尖角。
2.如權利要求1所述的等離子化學氣相沉積設備用掛鉤，其特征是，所述左掛鉤、右掛鉤、中間薄板的厚度為0.5mm。
3.如權利要求1所述的等離子化學氣相沉積設備用掛鉤，其特征是，所述折彎鉤高度為5mm，所述尖角高度為1mm。
4.如權利要求1所述的等離子化學氣相沉積設備用掛鉤，其特征是，所述左掛鉤、右掛鉤的寬度為1.25mm。
5.如權利要求1所述的等離子化學氣相沉積設備用掛鉤，其特征是，所述左掛鉤、右掛鉤的內端面與掛鉤中心線的距離為3mm。
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C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
