[實用新型]量測組件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320067669.3
• 申請日: 2013-02-05
• 公開（公告）號: CN203083649U
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 邵任民;黃志偉;劉安鈞;洪羿達
• 申請（專利權(quán)）人: 昱成光能股份有限公司
• 主分類號: G01F23/00
• 分類號: G01F23/00;C30B35/00
• 代理公司: 北京泰吉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11355
• 代理人: 張雅軍;顧以中

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種量測設(shè)備，特別是涉及一種適用于量測長晶爐內(nèi)石英坩堝中不同位置硅熔湯的固液界面位置變化的量測組件。

背景技術(shù)

現(xiàn)有一種以接觸式用來量測長晶爐的坩堝內(nèi)部的晶種高度的高度分析設(shè)備(中國臺灣證書號M430484專利案)，是利用一個驅(qū)動模組帶動一個夾頭模組、一支量測棒及一個切換開關(guān)朝向一個晶體移動，且該夾頭模組的一個第一夾頭夾設(shè)于量測棒上，該切換開關(guān)電性耦合于該驅(qū)動模組，利用該切換開關(guān)與該第一夾頭的接觸而輸出一個下移訊號，且當該驅(qū)動模組帶動該量測棒的底端接觸到晶體時，該量測棒被晶體施加的一個向上力量，會使第一夾頭脫離量測棒，第一夾頭受該驅(qū)動模組帶動持續(xù)下移，同時，使得該第一夾頭與該切換開關(guān)脫離接觸，該切換開關(guān)會輸出一個上移訊號，并控制該驅(qū)動模組帶動該夾頭模組、該量測棒及該切換開關(guān)向上移動。

雖然這種高度分析設(shè)備能利用該量測棒下移的深度及一個高度指示單元(光學(xué)尺)的一個讀取頭與一個高度標記配合并進行可程序計算，達到量測及分析位移量的目的，但是該量測棒只能對單一點位進行量測固液界面的位置變化，仍然無法量測其它點位的固液界面的位置變化。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單且能對長晶爐內(nèi)石英坩堝中不同距離及不同方位進行量測的量測組件。

本實用新型的量測組件，包含一支立桿及一支量測桿，該立桿沿一條軸線延伸，該量測桿具有一支連接于該立桿的主桿部及一支連接于該主桿部的第一歧桿部，該主桿部與該軸線相交設(shè)置，并具有一個第一端及一個與該第一端相反的第二端，該第一端與該第二端其中之一能拆卸且相對于該立桿產(chǎn)生固定，該第一歧桿部與該主桿部相交設(shè)置，該第一歧桿部與該第一端之間產(chǎn)生一個第一長度，該第一歧桿部與該第二端之間產(chǎn)生一個第二長度，該第一長度與該第二長度不等距。

本實用新型的量測組件，該立桿呈直桿狀，該量測桿的主桿部沿一條主中心線延伸，該主中心線與該軸線垂直相交設(shè)置，該第一歧桿部沿一條第一中心線延伸，該第一歧桿部與該主桿部垂直相交設(shè)置。

本實用新型的量測組件，該立桿具有一個外螺紋，該量測組件還包含一個螺設(shè)于該立桿的外螺紋的接頭，該量測桿的主桿部鎖接于該接頭。

本實用新型的量測組件，該量測桿的第一端具有一個能鎖接于該接頭的第一螺紋部，該第二端具有一個能鎖接于該接頭的第二螺紋部。

本實用新型的量測組件，該量測桿的第一歧桿部具有一個能拆卸且相對于該立桿產(chǎn)生固定的第三端。

本實用新型的量測組件，該量測桿的第三端具有一個能鎖接于該接頭的第三螺紋部，該第三端與該主桿部的主中心線之間產(chǎn)生一個與該第一長度、該第二長度不等距的第三長度。

本實用新型的量測組件，該量測桿還具有一支連接于該主桿部的第二歧桿部，該第二歧桿部沿一條第二中心線延伸，該第二歧桿部與該主桿部垂直相交設(shè)置，該第二歧桿部與該第一歧桿部間隔設(shè)置且沿該主桿部的環(huán)向彼此錯開設(shè)置，該第二歧桿部的第二中心線與該第一端端面之間產(chǎn)生一個第四長度，該第二歧桿部的第二中心線與該第二端端面之間產(chǎn)生一個第五長度，該第四長度與該第五長度不等距，且與該第一長度、該第二長度也不等距。

本實用新型的量測組件，該量測桿的第二歧桿部與該第一歧桿部不等長。

本實用新型的量測組件，該量測桿的第二歧桿部具有一個能拆卸且相對于該立桿產(chǎn)生固定的第四端，該第四端具有一個能相對于該主桿部螺接固定的第四螺紋部。

本實用新型的量測組件，該立桿具有一個頂端及一個沿該軸線相反于該頂端的底端，該量測組件還包含一支固接于該頂端且與該量測桿位于同一方位的旋轉(zhuǎn)桿。

本實用新型的有益效果在于：利用該第一長度與該第二長度不等距的作用，當該量測桿主桿部的第一端或該第二端與該立桿固接，且該主桿部以該軸線為轉(zhuǎn)動中心轉(zhuǎn)動時，利用該第一歧桿部能量測長晶爐內(nèi)石英坩堝中不同距離及不同方位硅熔湯的固液界面位置變化。

附圖說明

圖1是本實用新型量測組件一個第一較佳實施例的一個安裝示意圖；

圖2是該較佳實施例的一個平面組合圖；

圖3是該較佳實施例的一個變換量測距離的組合示意圖；

圖4是本實用新型量測組件一個第二較佳實施例的一個平面組合圖；

圖5是該第二較佳實施例的一個變換量測距離的組合示意圖；

圖6是該第二較佳實施例的另一個變換量測距離的組合示意圖；

圖7是本實用新型量測組件一個第三較佳實施例的一個平面組合圖；

圖8是該第三較佳實施例的一個變換量測距離的組合示意圖；

圖9是該第三較佳實施例的另一個變換量測距離的組合示意圖；