[實用新型]一種約束磨粒流的超精密加工裝置

有效

• 申請號: 201320067074.8
• 申請日: 2013-02-05
• 公開（公告）號: CN203380784U
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發明（設計）人: 葉必卿;袁巧玲;孫建輝;周海清;單曉杭;周丹峰
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: B24C5/00
• 分類號: B24C5/00;B24C5/04;B24C7/00;B24C9/00
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100
• 代理人: 趙芳

1.一種約束磨粒流的超精密加工裝置，其特征在于：包括拋光工具頭、供料裝置、回收底座和運動執行機構，所述拋光工具頭包括噴嘴、護套、安裝板、拋光頭管座、彈簧和激光位移傳感器，所述護套套裝在噴嘴的安裝臺階上，所述噴嘴與拋光頭管座固定連接，所述彈簧套裝在噴嘴上并壓緊護套，所述護套和噴嘴配合面上開有密封槽，所述護套為由對磨粒磨損不敏感的彈性材料制成的護套，所述噴嘴中心打通孔，所述拋光頭管座內設有供磨粒流流入的通道，所述拋光頭管座固定在安裝板上，所述激光位移傳感器固定在拋光頭管座的一側，所述安裝板與運動執行機構連接；所述回收底座中心為安裝工件的凸臺，所述凸臺四周有磨粒流回收槽，所述回收槽外圍有一圈磨粒流擋板，所述磨粒流擋板高于工件上表面，所述回收槽內有磨粒流回收出口。

2.如權利要求1所述的約束磨粒流的超精密加工裝置，其特征在于：所述磨粒流回收出口通過管道與回收泵的進料口連接，所述回收泵的出料口與攪拌裝置的進料口接通，所述攪拌裝置的出料口與供料泵的進料口連接，所述供料泵的出料孔與拋光工具頭上端面的磨料進料孔接通，所述壓力表安裝在攪拌裝置和供料裝置的連接氣管之間，所述供料泵和回收泵上都有流量調節裝置。

3.如權利要求1或2所述的約束磨粒流的超精密加工裝置，其特征在于：所述噴嘴上部銑有安裝平面，所述拋光頭管座四周均布螺紋孔通過螺栓與安裝板連接，所述拋光頭管座中心有與噴嘴連接的中心螺紋孔，所述拋光頭管座從側面設有管螺紋孔且與中心螺紋孔相通，所述磨粒流供料管與拋光頭上的管螺紋孔連接。

4.如權利要求1或2所述的約束磨粒流的超精密加工裝置，其特征在于：所述激光位移傳感器處于拋光工具頭運動方向的前端，所述激光位移傳感器與上位機連接，所述上位機與所述運動執行機構連接。