[實用新型]動力式吸引風刀

有效

• 申請號: 201320066243.6
• 申請日: 2013-02-05
• 公開（公告）號: CN203096177U
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 黃佩惠
• 申請（專利權）人: 黃佩惠
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 鄭利華

本實用新型涉及一種蝕刻用動力式吸引風刀，屬金屬蝕刻技術領域，具有摒除水池效應、具生產薄板或軟板效能、避免板子歪斜或卡板，以提高產品質量的功效。

蝕刻(Etching)指通過化學藥劑的侵蝕作用，將金屬表面除去全部或部分的作業。目前蝕刻工業廣泛運用于電子工業，諸如半導體裝置晶圓，電路板等的制造。以中國臺灣蝕刻專利為例，公告第M386597號用于軟性基板蝕刻制程的載臺(2010年08月11日專利公告數據參照)，該載臺應用于軟性基板卷對卷式(roll?to?roll)線路蝕刻制程中，除蝕刻液噴灑處下方支撐軟性基板外，更能使軟性基板形成中間凸起兩側較低的弧曲面，通過高度差，使噴灑在弧曲狀軟性基板上的蝕刻液得以增加流動性，以減少積留在軟性基板中央的水池現象，使軟性基板進行蝕刻細微線路或圖形的任何處均能達到全面性的均勻蝕刻效果。公告第M296469號蝕刻機的改良構造(2006年08月21日專利公告數據參照)，其包括有一機體、一噴霧器、一置物盤及一線性或曲線軌道，該機體上或下端設置可輸送蝕刻噴液的導引件，該噴霧器設置在機體上或下端，并包括連接管及在一側或兩側外伸連通有若干分岐管，其數分岐管則與置物盤的水平位移方向成一夾角，該置物盤設置在機體內部，其下或上具有旋轉軸的座體、其上或下具有若干可貼在被蝕刻物上進行蝕刻的保護膜，該線性或曲線軌道設置在機體中，其上或下具有可供置物盤作線性移動的溝槽，以此，該蝕刻機的置物盤除旋轉外并作適度的線性或曲線位移，使蝕刻噴液恒與被蝕刻物成直角，及由于被蝕刻物左右平移，故可免除死角，使得蝕刻作業為全方位，且被蝕刻物的上視圖案的尺寸更均勻。由于噴射嘴噴射的蝕刻液易于蝕刻物表面形成一水池，稱之為水池效應，水池效應易造成蝕刻不平均的現象，如何避免水池效應，乃成各業者亟待克服的難題。

本發明人先前的M406253號蝕刻裝置專利，在蝕刻制程中，運用流速差異的原理，形成一類似真空吸引力，將噴射在待蝕刻物表面上的蝕刻藥液，利用此一吸引力，將其帶離待蝕刻物表面，以避免水池效應。其主要包括有復數個噴射嘴，各噴射嘴管路連結供給噴射嘴蝕刻藥液的噴射動力源，另包括有復數個吸引風刀，各吸引風刀管路連結提供吸引風刀吸引力的吸引裝置及循環動力源，其特征在于：所述吸引裝置包括有一三通管，該三通管具有呈直線設置的第一管體、第二管體，第一管體與第二管體間具有向外側連通的第三管體，該第一管體連結循環動力源，第二管體連結蝕刻藥液槽，第三管體則連結吸引風刀，且第一管體具有外大內小的錐形口，第二管體具有內小外大的錐形口，具有極佳的吸引效果，能有效摒除水池效應，自推出后深獲業界推崇。但是由于真空蝕刻機在生產薄板(或軟板)時，因為真空的吸引力會使薄板(或軟板)被吸起，而沾黏到風刀，造成薄板(或軟板)歪斜甚或卡板的缺失，故生產薄板或軟板時受限制。

有鑒于此，本實用新型要解決的技術問題在于提供一種動力式吸引風刀，能夠避免生產薄板或軟板時板子歪斜或卡板的問題，提高產品的質量。

為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是這樣實現的：一種動力式吸引風刀，其主要包括有一座體，座體內具有管路，管路一端封閉，另一端連通吸引裝置，座體相對于吸引側具有適當數量連通管路的缺口，各缺口連結設置吸引本體，該吸引本體內具有至少一通道，各通道一端連通缺口，另一端則具有吸口，且各吸口較缺口為小，各所述吸引本體穿設有與座體平行的傳動軸，該傳動軸連結機臺主傳動機構而受其傳動，該傳動軸在各吸引本體側設有輪片，各輪片隨傳動軸轉動，且輪片并凸伸出于吸引本體下緣。

作為優選方案，所述吸引本體吸口底部具有擋片封閉部分吸口。

作為優選方案，所述吸口通過擋片交錯設置。

本實用新型達到的技術效果如下：本實用新型動力式吸引風刀，除具有較佳的吸引效果，能有效摒除水池效應外，更可通過轉動的輪片來壓制待蝕刻物，如此當待蝕刻板為薄板或軟板時，不會因為真空吸引力而使得待蝕刻物沾黏到吸引本體，造成卡板或板子歪斜的缺失，如此一并解決了真空蝕刻機不能生產薄板或軟板的限制，同時提高了產品的質量。

圖1為本實用新型動力式吸引風刀的蝕刻裝置示意圖；

圖2為本實用新型動力式吸引風刀的蝕刻裝置吸引裝置剖面圖；

圖3為本實用新型動力式吸引風刀實施例立體圖；

圖4為本實用新型動力式吸引風刀實施例剖面圖。

【符號說明】

【符號說明】

1噴射嘴

2噴射動力源

3吸引風刀

30座體??

31管路

32缺口

33吸引本體

34通道??