[實用新型]一種多用途同步輻射相干X射線衍射顯微成像裝置

有效

• 申請號: 201320064157.1
• 申請日: 2013-02-05
• 公開（公告）號: CN203069533U
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發明（設計）人: 江懷東;范家東;劉宏;張劍;姚圣坤
• 申請（專利權）人: 山東大學
• 主分類號: G01N23/207
• 分類號: G01N23/207
• 代理公司: 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221
• 代理人: 李健康

1.一種多用途同步輻射相干X射線衍射顯微成像裝置，其特征在于：所述裝置沿光束前進方向依次共軸排列有：同步輻射X射線光源、波蕩器、設置于電控旋轉平臺上的單色器晶體、X射線快門、第一升降平臺和設置于其上的聚焦裝置腔、真空管道、第二升降平臺和設置于其上的多用途樣品室、真空管道、第三升降平臺和設置于其上的探測器、以及收集數據和控制電控平移臺移動的計算機；其中所述聚焦裝置腔在側面設有一個用于內部設備調整的封閉門，其腔內沿光路前進方向依次共軸排列有：固定于角位移臺和二維方向高精度平移臺上的水平聚焦KB鏡、固定于角位移臺和二維方向高精度平移臺上的垂直聚焦KB鏡，所述多用途樣品室頂端面和側面分別設有一個密封門，室中沿光路前進方向依次共軸排列有：固定于二維方向高精度電動平移臺上的針孔、第一直角光闌、第二直角光闌、能三維方向移轉的樣品臺和可移動光電二極管，樣品室頂部設有一個真空閥接口，接于真空泵，樣品室底部一側和樣品室頂部另一側各設一個換氣接口，分別為進氣口和出氣口，正對樣品臺位置設置一個氮氣冷卻噴頭，噴頭的另一端連接于樣品室頂部的液氮進口，所述第三升降平臺上沿光路前進方向依次共軸排列有：X射線衰減器，固定于二維高精度電動平移臺上的光電二極管，X射線擋板和置于高精度三維方向電動平移臺上的X射線CCD探測器。

2.根據權利要求1所述多用途同步輻射相干X射線衍射顯微成像裝置，其特征在于：所述單色器晶體為111晶面Si單晶；所述X射線快門響應時間為0.1-10ms，X射線穿透閾值不小于20KeV；所述針孔孔徑范圍為0.2μm-50μm，厚度不低于100μm；所述第一直角光闌和第二直角光闌均為邊緣平整、潔凈的硅窗，厚度不低于100μm，分別置于針孔之后10-30cm和40-60cm的位置；所述可移動光電二極管為硅X射線光電二極管，連接于信號放大器，探測X射線的通量；所述樣品臺由兩個二維方向平移臺和一個180°或360°旋轉臺組成，距離第二直角光闌的距離為1-20cm；所述X射線衰減器由一楔形鋁片構成，楔形厚度范圍為0.01mm-5mm；所述X射線擋板由邊緣平整、厚度2-5mm的正方形不銹鋼片組成，置于X射線CCD探測器前1-10cm；所述X射線CCD探測器為單光子響應液氮制冷CCD，距離樣品臺為10-500cm。

3.根據權利要求1所述多用途同步輻射相干X射線衍射顯微成像裝置，其特征在于：所述聚焦裝置腔和多用途樣品室為透明設計，腔體由厚度為1.5-3cm的透明PVC板制得。