[實(shí)用新型]晶舟及晶圓存放機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320061526.1
• 申請(qǐng)日: 2013-02-01
• 公開（公告）號(hào): CN203103272U
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 方三軍;朱瑜杰;陳思安;徐萍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

一種晶舟，包括一個(gè)頂蓋和若干用以放置晶圓的晶圓槽，所述頂蓋平行于所述晶圓槽，所述頂蓋的兩個(gè)相對(duì)的邊緣分別設(shè)有一個(gè)寬開口和一個(gè)窄開口，另兩個(gè)相對(duì)的邊緣平行設(shè)置，且在晶圓槽上的垂直投影分別位于晶圓的兩側(cè)，其特征在于：在所述寬開口和所述窄開口內(nèi)還設(shè)有兩個(gè)弧形部，每個(gè)所述弧形部包括一個(gè)圓弧邊緣和一個(gè)圓弦邊緣，兩個(gè)所述圓弦邊緣分別與所述寬開口和所述窄開口連接，所述頂蓋在所述晶圓槽上的垂直投影覆蓋所述晶圓。

如權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于：所述圓弧邊緣在所述晶圓槽上的垂直投影與所述晶圓的外輪廓匹配。

如權(quán)利要求2所述的晶舟，其特征在于：所述圓弧邊緣的半徑與所述晶圓的半徑相同。

如權(quán)利要求2所述的晶舟，其特征在于：所述圓弧邊緣的圓心在所述晶圓槽上的垂直投影與所述晶圓的圓心重合。

如權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于：所述頂蓋和與之相鄰的晶圓槽之間的間距等于所述晶圓槽與相鄰晶圓槽之間的間距。

一種晶圓存放機(jī)構(gòu)，包括一個(gè)晶盒，其特征在于：還包括了如權(quán)利要求1至5任意之一所述的晶舟，所述晶舟位于在所述晶盒內(nèi)。