[實用新型]晶體生長裝置及其晶體生長初期籽晶長度的測量裝置

有效

• 申請號: 201320060711.9
• 申請日: 2013-01-30
• 公開（公告）號: CN203080114U
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 徐永亮;姜樹炎
• 申請（專利權）人: 浙江昀豐新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;G01B5/02
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

1.一種晶體生長初期籽晶長度的測量裝置，其特征在于，包括固定件（1）、安裝管（2）、主動塊（3）、測量桿（4）及套設在所述安裝管（2）外側的從動塊（5），所述固定件（1）上開設有測量桿口，所述安裝管（2）的兩端分別為封閉端和開口端且所述開口端與所述固定件（1）密封安裝，固定有所述測量桿（4）的所述主動塊（3）放置在所述安裝管（2）內，所述主動塊（3）與所述從動塊（5）通過磁場相互作用以實現兩者聯動。

2.根據權利要求1所述測量裝置，其特征在于，還包括安裝在所述固定件（1）上且罩設在所述從動塊（5）外側的防護罩（7）。

3.根據權利要求2所述的測量裝置，其特征在于，還包括安裝在所述防護罩（7）上的標尺（8）及安裝在所述從動塊（5）上且指向所述標尺（8）的指針（9），所述防護罩（7）上開設有供所述指針（9）上下移動的滑槽。

4.根據權利要求3所述的測量裝置，其特征在于，所述指針（9）的針尖位于所述標尺（8）的背面和所述防護罩（7）之間。

5.根據權利要求2所述的測量裝置，其特征在于，所述防護罩（7）上設有用于掛接所述指針（9）的卡勾。

6.根據權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述主動塊（3）沿其運動方向在所述測量桿口所在面的投影面包括位于測量桿口輪廓內的第一投影面和位于所述測量桿口輪廓外的第二投影面。

7.根據權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，還包括設置在所述固定件（1）上的冷卻結構。

8.根據權利要求1-7中任一項所述的測量裝置，其特征在于，所述固定件（1）與所述安裝管（2）之間設有密封圈（10）。

9.一種晶體生長裝置，包括爐腔蓋及固定在所述爐腔蓋上的晶體生長初期籽晶融化長度的測量裝置，其特征在于，所述測量裝置為權利要求1-8中任一項所述的測量裝置。