[實(shí)用新型]一種用于超薄外延層生長(zhǎng)的液相外延石墨舟

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320057163.4
• 申請(qǐng)日: 2013-01-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203128690U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱鋒;胡淑紅;孫常鴻;王奇?zhèn)?/a>;呂英飛;郭建華;鄧惠勇;戴寧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
• 主分類號(hào): C30B19/06
• 分類號(hào): C30B19/06
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種用于超薄層生長(zhǎng)的液相外延石墨舟，包括蓋板（1.0）、母液舟（2.0）、襯底滑板（3.0）和底座（4.0）；其特征在于：

母液舟（2.0）通過(guò)小孔固定在底座上，即用石墨圓棒穿過(guò)底座上的圓孔（4.2）與對(duì)應(yīng)母液舟上的圓孔（2.1），其液槽的空隙部分如一個(gè)楔形，較低位置處是一個(gè)很窄的狹縫（2.4），液槽上有單獨(dú)使用蓋板（1.0），形狀如同尺寸相差一點(diǎn)的兩個(gè)方塊鏈接在一起，能很嚴(yán)實(shí)地蓋在液槽上；襯底滑板正反面各有一個(gè)不同槽深的襯底槽（3.2），而且有預(yù)留的滑板空隙（3.1），安放的滑板夾片（3.4），底座下方的回收槽（4.1）之間是隔開(kāi)的，用于回收不同母液，避免之間的相互污染，用石墨圓棒穿入底座上的小圓孔（4.2）與母液舟的小圓孔（2.1）而將母液舟與底座固定，使襯底滑板在其中間滑動(dòng)，底座下方有幾個(gè)與母液舟（2.3）對(duì)應(yīng)的回收槽（4.1），便于無(wú)污染的母液回收，實(shí)現(xiàn)母液再次利用。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于超薄層生長(zhǎng)的液相外延石墨舟，其特征在于：所說(shuō)的蓋板（1.0）是兩個(gè)小方臺(tái)構(gòu)成，較小的方臺(tái)（1.3）能很嚴(yán)實(shí)地蓋在液槽上，較大小方臺(tái)（1.2）的外側(cè)有便于鑷子夾取的兩個(gè)圓柱形小孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于超薄層生長(zhǎng)的液相外延石墨舟，其特征在于：所說(shuō)的母液舟（2.0）有四個(gè)液槽（2.3），每個(gè)液槽的空隙楔形狹縫（2.4）寬度可以是一系列的尺寸或者寬度一致，一般是幾個(gè)mm，本專利示例中四個(gè)液槽狹縫寬度分別是0.5mm、1mm、1.5mm、2mm，且狹縫的方向垂直于母液舟的運(yùn)動(dòng)方向；若生長(zhǎng)不同外延層的溫度有很大差距，液槽之間的距離可以增大，保證襯底在液槽之間的下方停留，或者多加一個(gè)無(wú)狹縫的液槽（2.2）以停留襯底，等待升降溫過(guò)程。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于超薄層生長(zhǎng)的液相外延石墨舟，其特征在于：所說(shuō)的襯底滑板（3.0）正反面各有一個(gè)不同槽深的襯底槽（3.2），適合不同襯底厚度或者因?yàn)橐r底厚度誤差帶來(lái)的襯底槽過(guò)深或太淺的情況，且有預(yù)留的滑板空隙（3.1），卡放不同型號(hào)的滑板夾片，既能實(shí)現(xiàn)多層外延層生長(zhǎng)，又能在生長(zhǎng)結(jié)束讓母液回收到對(duì)應(yīng)的回收槽（4.1）中。