[實用新型]刻蝕烘烤設備

有效

• 申請號: 201320054079.7
• 申請日: 2013-01-29
• 公開（公告）號: CN203080061U
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 周永君;徐小明;丁云鑫
• 申請（專利權）人: 杭州士蘭明芯科技有限公司
• 主分類號: C23C16/00
• 分類號: C23C16/00;C23F1/12
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 浦易文

1.一種刻蝕烘烤設備（10），所述設備包括：

反應腔（300），用于容納需被清潔的石墨盤或外延襯底片；

加熱組件（400），所述加熱組件（400）構造在反應腔（300）的外側并能被操作提升反應腔（300）內的溫度；

其特征在于，所述刻蝕烘烤設備（10）包括循環風冷系統（200），所述循環風冷系統（200）包括：

串接在所述循環風冷系統（200）中、使氣流循環運動的鼓風機（210）；

位于反應腔（300）上方的頂部集氣槽（220）；

位于反應腔（300）下方的底部集氣槽（230）；

連通在所述頂部集氣槽（220）和所述底部集氣槽（230）之間的風腔，所述風腔位于所述反應腔（300）四周，引入風腔（240）中的氣流能夠對所述加熱組件（400）進行冷卻；以及

換熱器（250），所述換熱器（250）通過循環風道連接到底部集氣槽（230）的下游。

2.如權利要求1所述的刻蝕烘烤設備（10），其特征在于，還包括層流風冷系統（100），所述層流風冷系統（100）包括風機（110）、冷卻風通道（130）以及過濾器（120），所述冷卻風通道（130）將風機（110）連接到過濾器（120），所述風機（110）將氣流引入所述過濾器（120），并且從過濾器（120）的出風口導出。

3.如權利要求2所述的刻蝕烘烤設備（10），其特征在于，所述過濾器（120）具有豎直設置的孔板裝置，所述孔板裝置將導入所述過濾器（120）的氣流轉向水平氣流，并且

所述過濾器（120）的出風口（122）設置引導所述水平氣流沿平行于石墨盤的盤表面的方向流過所述石墨盤。

4.如權利要求1所述的刻蝕烘烤設備（10），其特征在于，所述循環風冷系統（200）還包括補風通道（260），所述補風通道（260）設置在所述底部集氣槽（230）與所述換熱器（250）之間。

5.如權利要求1所述的刻蝕烘烤設備（10），其特征在于，所述加熱組件（400）為紅外燈管組件，所述紅外燈管組件包括分別設置在反應腔（300）的相對兩個側面外側彼此相對的第一紅外燈管組件部（410）和第二紅外燈管組件部（420）；

在所述反應腔（300）的另外兩個相對側面的外側設置有反射板組件。

6.如權利要求5所述的刻蝕烘烤設備（10），其特征在于，所述風腔（240）包括反射面風腔和加熱面風腔，其中所述反射面風腔包括設置在設有反射板的兩個相對側面處的第一反射面風腔（242）和第二反射面風腔（244），所述加熱面風腔包括設置在設有所述紅外燈管組件的兩個相對側面處的第一加熱面風腔（246）和第二加熱面風腔（248）。

7.如權利要求6所述的刻蝕烘烤設備（10），其特征在于，第一加熱面風腔（246）和第二加熱面風腔（248）具有通向內風腔的配流結構，以對所述紅外燈管組件中的紅外燈管以及構成反應腔（300）的反應罩（310）進行冷卻。

8.如權利要求1所述的刻蝕烘烤設備（10），其特征在于，所述頂部集氣槽（220）形成為圍繞在反應腔上方外周圍的環腔，所述環腔底部具有配流結構。

9.如權利要求8所述的刻蝕烘烤設備（10），其特征在于，所述風腔（240）包括反射面風腔和加熱面風腔，其中所述配流結構構造成使引入加熱面風腔的氣流量大于引用反射面風腔的氣流量。

10.如權利要求5所述的刻蝕烘烤設備（10），其特征在于，所述反射板組件（500）的側面設有開孔（510）。

11.如權利要求1所述的刻蝕烘烤設備（10），其特征在于，一個或兩個石墨盤以豎直狀態設置在反應腔（300）。

12.如權利要求1所述的刻蝕烘烤設備（10），其特征在于，所述刻蝕烘烤設備為氯氣刻蝕烘烤設備，在所述設備（10）的工作過程中，氯氣和氯化物氣體中的至少一種通入到所述反應腔（300）內。