[實(shí)用新型]臺階儀機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320053178.3
• 申請日: 2013-01-30
• 公開（公告）號: CN203259114U
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李田生;閻長江;徐少穎;謝振宇
• 申請（專利權(quán)）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/03
• 代理公司: 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11270
• 代理人: 張穎玲;張振偉

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種臺階儀，尤其涉及一種具備實(shí)時校準(zhǔn)功能的臺階儀機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

臺階儀作為自動化生產(chǎn)線最重要的一種測試工具，以其構(gòu)造簡單、精度高、測試方便而被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)器件、平板顯示等高端領(lǐng)域。臺階儀在使用時，在顯示裝置觀察探針探測刻蝕膜層的位置，然后將顯示裝置中的圖像采集裝置對應(yīng)的準(zhǔn)星調(diào)整至觀察到的該探測位置，則認(rèn)為顯示裝置的顯示的測試點(diǎn)為實(shí)際測試點(diǎn)。該調(diào)整過程較為主觀，誤差較大，并且由于臺階儀利用率高，在操作上容易造成儀器失真、測量位置偏移等問題，這就要求在使用過程中要定期對臺階儀進(jìn)行校準(zhǔn)與維護(hù)。但是，校準(zhǔn)之后很快又會出現(xiàn)偏差失真等現(xiàn)象。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種臺階儀機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時校準(zhǔn)，方便了測試，進(jìn)而提高了測試質(zhì)量。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種臺階儀機(jī)構(gòu)，包括計算機(jī)控制裝置、動力裝置、顯示裝置以及臺階儀；所述計算機(jī)控制裝置分別與所述動力裝置及所述顯示裝置相連接，所述動力裝置與所述臺階儀相連接；所述臺階儀包括支架，所述支架的一端連接所述動力裝置，另一端垂直設(shè)置有位移傳感器，所述位移傳感器下端設(shè)置有調(diào)節(jié)基板，所述調(diào)節(jié)基板的下端設(shè)置有圖像采集裝置、發(fā)光裝置以及探針，所述圖像采集裝置以及所述發(fā)光裝置可移動地設(shè)置在所述調(diào)節(jié)基板上，所述臺階儀機(jī)構(gòu)還包括感應(yīng)薄膜，所述感應(yīng)薄膜具有疊設(shè)的用于獲得所述發(fā)光裝置對所述感應(yīng)薄膜的照射位置的光線傳感膜以及用于獲得所述探針與所述感應(yīng)薄膜的接觸位置的觸摸傳感膜。

優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)基板的底部設(shè)置有滑道，所述圖像采集裝置以及所述發(fā)光裝置可移動地設(shè)置在所述滑道內(nèi)。

優(yōu)選地，所述計算機(jī)控制裝置通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)實(shí)時地調(diào)節(jié)所述圖像采集裝置以及所述發(fā)光裝置的位置或角度。

優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)為齒輪傳動機(jī)構(gòu)或蝸輪蝸桿傳動機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述滑道包括分別呈橫向布置以及縱向布置的兩條滑道，其中一條滑道可以在另一條滑道上移動。

優(yōu)選地，所述滑道為魚骨狀，魚骨狀的所述滑道的數(shù)量為一個。

優(yōu)選地，所述光線傳感膜設(shè)置在所述觸摸傳感膜的上方或下方。

優(yōu)選地，所述動力裝置為電動機(jī)。

優(yōu)選地，所述位移傳感器為差動變壓器式位移傳感器。

優(yōu)選地，所述發(fā)光裝置為激光發(fā)射裝置。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的臺階儀機(jī)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，通過增設(shè)的發(fā)光裝置能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)時校準(zhǔn)，提高了測試質(zhì)量。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的臺階儀機(jī)構(gòu)的部分示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的臺階儀機(jī)構(gòu)的顯示示意圖。

附圖標(biāo)記說明：

10顯示裝置??????????20臺階儀

21支架??????????????22位移傳感器

23調(diào)節(jié)基板??????????24圖像采集裝置

25發(fā)光裝置??????????26探針

30待測試基板????????40感應(yīng)薄膜

50實(shí)際接觸區(qū)域??????60光束入射區(qū)域

D1水平移動?????????????????D2垂直移動

具體實(shí)施方式

有關(guān)本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容及詳細(xì)說明，現(xiàn)結(jié)合附圖說明如下。

如圖1所示，本實(shí)用新型提供了一種臺階儀機(jī)構(gòu)，包括計算機(jī)控制裝置(未示出)、動力裝置(未示出)、顯示裝置10以及臺階儀20；計算機(jī)控制裝置分別與動力裝置及顯示裝置10相連接，動力裝置與臺階儀20相連接；其中，臺階儀包括支架21；支架21的一端連接動力裝置，另一端垂直設(shè)置有位移傳感器22，位移傳感器22例如為差動變壓器式位移傳感器，位移傳感器22下端設(shè)置有調(diào)節(jié)基板23，調(diào)節(jié)基板23的下端設(shè)置有圖像采集裝置24、發(fā)光裝置25以及探針26，其中，圖像采集裝置24以及發(fā)光裝置25可移動地設(shè)置在調(diào)節(jié)基板23上；臺階儀機(jī)構(gòu)還包括感應(yīng)薄膜40，感應(yīng)薄膜40具有疊設(shè)的用于獲得發(fā)光裝置25對感應(yīng)薄膜40的照射位置的光線傳感膜以及用于獲得探針26與感應(yīng)薄膜40的接觸位置的觸摸傳感膜。