[實用新型]玻璃基板的制造裝置

有效

• 申請號: 201320049384.7
• 申請日: 2013-01-29
• 公開（公告）號: CN203173962U
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 濱谷貴央;新彰夫;藤本慎吾
• 申請（專利權）人: 安瀚視特控股株式會社
• 主分類號: C03B5/225
• 分類號: C03B5/225
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 丁香蘭;龐東成

技術領域

本實用新型涉及一種玻璃基板的制造裝置，其通過對熔融玻璃進行成型來制造玻璃基板，所述熔融玻璃是通過對玻璃原料進行熔融而得到的。

背景技術

玻璃基板一般是經過由玻璃原料生成熔融玻璃之后，將熔融玻璃成型為玻璃基板的工序來制造的。上述工序中，包括將熔融玻璃內含的微小氣泡除去的工序(以下也稱為澄清)。澄清是通過下述方法進行的：一邊對澄清管進行加熱，一邊使配合有As₂O₃等澄清劑的熔融玻璃通過澄清管，利用澄清劑的氧化還原反應來除去熔融玻璃中的氣泡，由此來進行澄清。更具體而言，按照下述方式進行澄清：進一步提高粗熔解后的熔融玻璃的溫度以使澄清劑發揮功能，進行氣泡的上浮脫泡后，降低溫度，由此使熔融玻璃吸收未完全脫泡而殘留的較小的氣泡。即，澄清包含使氣泡上浮脫泡的處理(以下稱為脫泡處理)以及使小泡吸收至熔融玻璃中的處理(以下稱為吸收處理)。在脫泡處理中，使熔融玻璃通過澄清管時，在澄清管的內部上方的表面與熔融玻璃的液面之間具有恒定面積的脫泡用的氣相空間。

為了由高溫的熔融玻璃進行高品質的玻璃基板的量產，期望考慮作為玻璃基板缺陷的主要因素的雜質等不要從制造玻璃基板的任何裝置中混入到熔融玻璃中。因此，在玻璃基板的制造過程中，與熔融玻璃接觸的部件的內壁需要根據與該部件接觸的熔融玻璃的溫度、所要求的玻璃基板的品質等由適當的材料構成。例如，已知構成上述澄清管的管的材料，一般使用鉑或鉑合金等鉑族金屬(專利文獻1)。鉑或鉑合金等雖然價格高但熔點高、對熔融玻璃的耐腐蝕性也優異，因此適合用于澄清管。

在脫泡處理時對澄清管進行加熱的溫度根據想要成型的玻璃基板的組成而不同，為1000℃～1650℃左右。特別是從降低環境負荷的觀點出發，近年來開始使用SnO₂或Fe₂O₃等來代替澄清功能高但毒性也高的As₂O₃。但是，與As₂O₃相比，這些物質的澄清功能較差，發揮澄清功能的溫度比As₂O₃高。因此，脫泡處理時的熔融玻璃的溫度設定為1500℃～1650℃。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特表2006-522001號公報

這樣的玻璃基板的制造裝置的澄清管進行長時間澄清工序時，由于長期處于高溫，因此機械強度下降。另外，鉑或鉑合金的一部分揮發而使厚度部分性變薄，因此機械強度進一步下降。進一步，在厚度變薄的部分，對澄清管進行通電加熱時的電阻變高，加熱溫度部分性變高。由此，強度進一步下降，同時促進了上述揮發，因此厚度更進一步變薄，強度下降。與氣相空間接觸的地方會因該強度的下降而無法承受來自澄清管內側的熔融玻璃的壓力，因此容易因自重而下垂。

另一方面，為了將通過脫泡處理從熔融玻璃放出的氧等氣體排出到外部空氣，在澄清管上設置有連通氣相空間與外部空氣的煙筒狀的通氣管。該通氣管連接于澄清管中的與氣相空間接觸的地方，因此在該通氣管的與澄清管連接的連接部分上加載有通氣管的負荷，澄清管容易以通氣管為中心向下方下垂。

由于這樣的下垂，設置在澄清管與澄清管周圍的耐火物部件之間會產生間隙，空氣容易從外部進入該間隙。若空氣進入該間隙，則有可能促進鉑或鉑合金從與間隙接觸的澄清管的外壁面揮發。

特別是一部分通氣管的下垂有可能導致大量的金屬性雜質向熔融玻璃混入。具體而言，從與澄清管的氣相空間接觸的內壁面揮發的鉑或鉑合金與具有較低溫度的通氣管的內壁面的周圍接觸而發生凝縮、固化，形成大量的鉑雜質等金屬性雜質。因此，在通氣管的周圍的內壁面下垂并沉入熔融玻璃中的情況下，形成在通氣管的周圍的內壁面的金屬性雜質混入熔融玻璃中的可能性變高。

另外，若通氣管的下沉變大，則施加在澄清管的壁上的應變也變大，因此厚度變薄的澄清管越來越容易損壞。

因此，本實用新型的目的在于提供一種玻璃基板的制造裝置，其能夠在玻璃基板的制作工序中的通過加熱澄清管來進行澄清處理時，抑制澄清管向氣相空間下垂。

本實用新型的一個方式是制造玻璃基板的玻璃基板的制造裝置。該制造裝置具有：

熔解槽，在熔解爐中將玻璃原料熔解從而形成熔融玻璃；

澄清管，將所述熔融玻璃供給至鉑制或鉑合金制的澄清管從而進行熔融玻璃的澄清；和

成型裝置，對澄清后的熔融玻璃進行成型從而形成玻璃基板。

在所述澄清管中，按照在所述熔融玻璃的流路上方具有氣相空間的方式使所述熔融玻璃流動。