[實(shí)用新型]一種壓力控制閥

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320046330.5
• 申請(qǐng)日: 2013-01-28
• 公開（公告）號(hào): CN203176532U
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱炳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫華潤(rùn)上華科技有限公司
• 主分類號(hào): F16K51/00
• 分類號(hào): F16K51/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 馬曉亞

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造所使用的器件，特別的，涉及一種新型的壓力控制閥。

背景技術(shù)

壓力控制閥PCV（pressure?control?valve）是機(jī)械和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中常用的一種壓力控制設(shè)備，它可以控制所輸出的氣體或者流體的壓力。在半導(dǎo)體制造中，特別是在EPI（外延）工藝中，壓力控制閥起著非常重要的作用。壓力控制閥主要是靠閥芯的轉(zhuǎn)動(dòng)來調(diào)節(jié)室（chamber）的壓力的。而EPI工藝過程中壓力會(huì)經(jīng)常切換，導(dǎo)致PCV閥芯不停的切換角度來達(dá)到機(jī)臺(tái)所要求的壓力。頻繁的轉(zhuǎn)動(dòng)摩擦導(dǎo)致PCV控制能力下降。

以往的壓力控制閥由于本身閥芯設(shè)計(jì)存在一定缺陷導(dǎo)致壓力報(bào)警的頻率過多，使得機(jī)臺(tái)穩(wěn)定性變差導(dǎo)致產(chǎn)生具有缺陷的產(chǎn)品的風(fēng)險(xiǎn)度增加，而且EPI機(jī)臺(tái)涉及到一些B₂H₆/PH₃/SiH₂Cl₂等特種氣體，頻繁更換會(huì)加大設(shè)備人員維護(hù)的風(fēng)險(xiǎn)?，F(xiàn)有技術(shù)中對(duì)PCV的改造沒有特殊的方法，基本上是在出現(xiàn)故障以后直接對(duì)壓力控制閥進(jìn)行更換，然后將舊的壓力控制閥送出進(jìn)行檢修。

因此，現(xiàn)有的壓力控制閥設(shè)備具有如下的缺點(diǎn)：首先是壓力控制閥所提供的壓力服務(wù)不穩(wěn)，影響產(chǎn)品的穩(wěn)定性；其次是現(xiàn)有的壓力控制閥使用壽命偏低，增加了設(shè)備人員的工作負(fù)擔(dān)；第三，由于EPI管路的反應(yīng)物是易燃和有毒的，壓力控制閥更換頻率過快存在一定的安全風(fēng)險(xiǎn)；最后，頻繁更換壓力控制閥增加了維護(hù)成本，不利于成本降低。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述所提到的現(xiàn)有技術(shù)中的若干個(gè)缺點(diǎn)，解決壓力控制閥壽命過短的問題，提高壓力控制閥的壽命，提高了使用該壓力控制閥機(jī)臺(tái)的正常運(yùn)行時(shí)間，降低產(chǎn)品報(bào)廢率，增加了機(jī)臺(tái)的穩(wěn)定性。

因此，本實(shí)用新型提出一種新型的壓力控制閥。

為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：一種壓力控制閥（PCV），包括：密封圈，閥片，所述閥片表面上具有密封圈溝槽，所述密封圈通過所述密封圈溝槽安裝在所述閥片上；其特征在于：所述密封圈的線徑為3.38mm。這減少了殼體轉(zhuǎn)動(dòng)的摩擦阻力。

優(yōu)選地，所述密封圈溝槽的深度為26.04mm。

優(yōu)選地，所述密封圈為全氟密封圈。

本實(shí)用新型的密封圈與閥片配合更加緊密，壓力控制更加精細(xì)。

附圖說明

圖1是根據(jù)本實(shí)用新型的密封圈的側(cè)向示意圖；

圖2是根據(jù)本實(shí)用新型的閥片的正向示意圖。

圖中的附圖標(biāo)記所分別指代的技術(shù)特征為：

1、密封圈；2、閥片；3、密封圈溝槽。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明?？梢岳斫獾氖牵颂幩枋龅木唧w實(shí)施例僅僅用于解釋本實(shí)用新型，而非對(duì)本實(shí)用新型的限定。另外還需要說明的是，為了便于描述，附圖中僅示出了與本實(shí)用新型相關(guān)的部分而非全部結(jié)構(gòu)。

壓力控制閥主要是靠閥芯的轉(zhuǎn)動(dòng)來調(diào)節(jié)壓力的，而正是閥芯中閥片與密封圈（0-ring）的配合導(dǎo)致壓力控制閥頻頻出現(xiàn)問題。

實(shí)施例1：

參見附圖1,2描述本實(shí)用新型的實(shí)施例1。

一種壓力控制閥，其包括密封圈（0-ring）1，該密封圈可以是全氟密封圈，閥片2，閥片2表面上具有密封圈溝槽3，所述密封圈1通過密封圈溝槽3安裝在閥片2上。閥片2與密封圈1之間的配合將影響壓力控制閥轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的各種受力。申請(qǐng)人對(duì)密封圈的各種規(guī)則尺寸進(jìn)行了大量的實(shí)驗(yàn)和研究。經(jīng)過研究發(fā)現(xiàn)，壓力控制閥在工作狀態(tài)中的轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的所受到的摩擦阻力與密封圈1的線徑有關(guān)。所述線徑指的是密封圈的膠圈條的直徑大小。現(xiàn)有技術(shù)中密封圈1的線徑為φ3.47mm，經(jīng)過實(shí)驗(yàn)進(jìn)一步發(fā)現(xiàn)，減小密封圈1的線徑將使得閥片2在殼體（housing）轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)摩擦阻力減小，從而使得轉(zhuǎn)動(dòng)更加順暢?，F(xiàn)有技術(shù)中，密封圈1的線徑為φ3.47mm。而在本實(shí)施例中，可以減小密封圈1的線徑；進(jìn)一步的，優(yōu)選為將密封圈1的線徑設(shè)計(jì)為φ3.38mm。使得閥片2在殼體（housing）轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)受到的摩擦阻力較小，從而使得轉(zhuǎn)動(dòng)更加順暢。

實(shí)施例2：