[實用新型]射頻板條CO2激光器光腔精密調節系統

有效

• 申請號: 201320044747.8
• 申請日: 2013-01-28
• 公開（公告）號: CN203150899U
• 公開（公告）日: 2013-08-21
• 發明（設計）人: 吳益;鈕靖;鄧前松
• 申請（專利權）人: 江蘇益林金剛石工具有限公司;華中科技大學
• 主分類號: H01S3/105
• 分類號: H01S3/105
• 代理公司: 鎮江京科專利商標代理有限公司 32107
• 代理人: 夏哲華

技術領域

本實用新型涉及一種射頻板條CO₂激光器，具體地說是一種射頻板條CO₂激光器光腔精密調節系統，屬于激光器技術領域。

背景技術

激光在現代高科技領域中占有重要地位，利用激光進行熱處理、焊接、切割是當今和今后先進加工的主要手段和潮流，為了保證加工的高品質，有必要控制激光器的各項參數，特別是使輸出功率和激光模式。高功率CO₂激光器在工作過程中，受氣壓、溫度等因素的影響，諧振腔會產生一定的畸變，導致光電轉換效率下降，模式變差。

激光器在工作過程中，光腔的穩定性對激光器輸出功率的穩定性和激光的指向性有非常大的影響，這對激光加工質量的穩定性起到至關重要的作用。因此對激光器光腔進行精密調節對激光器的性能和激光的應用有重要意義。

射頻板條CO₂激光器現有的光腔調節主要有人工手動調節和電控手動調節兩種方式。

人工手動調節指，當激光器諧振腔產生畸變導致功率下降時，通過人工手動調節固定在輸出鏡座上的螺桿等機械零件，使輸出功率達到最大。這種調節方式不斷費時費力，而且還帶有一定的人的安全風險性。

電控手動調節則是人工手動調節的改進，通過控制系統控制位移驅動器（伺服電機、壓電陶瓷等）改變輸出鏡的角度，使輸出功率達到最大。此方法雖然在操作上有一定的改進，但激光器在實際工作中，往往需要功率保持一定范圍的穩定，手動調節便影響了工作效率。

發明內容

本實用新型的要解決的技術問題是提供一種既可以對光腔進行手的動調節，也可以實現光腔自適應調節，保證激光器功率長時間穩定的射頻板條CO₂激光器光腔精密調節系統。

為了解決上述技術問題，本實用新型的射頻板條CO₂激光器光腔精密調節系統，包括一個能夠進行數據處理運算以及控制信號發出的微處理系統，一個由調鏡板和設置在調鏡板上的一對微位移器構成的執行系統，微處理系統和執行系統之間設置有一個接收微處理系統的控制信號并能發出驅動信號，通過發出的驅動信號控制執行系統的驅動系統，所述執行系統和微處理系統之間還設置有一個能夠實時顯示功率數據以及能夠將功率數據反饋到微處理系統內的功率系統。

本實用新型的優點在于：

通過本實用新型上述結構的設置，當需要對激光諧振腔進行調節時，外部給入一個信號，通過微處理器轉化為控制信號，通過驅動系統控制執行系統，執行效果通過功率系統顯示并將數據傳送回微處理系統進行分析，由此實現了既可進行手動調節，又可實現設備自適應調節的功能，操作方便，可以很好的保證激光器功率長時間的穩定，大大提高了工作效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構框圖；

圖2為本實用新型中執行系統結構示意圖；

圖3為本實用新型的手動調節方式流程圖；

圖4為本實用新型的自動調節方式流程圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式，對本實用新型的射頻板條CO₂激光器光腔精密調節系統作進一步詳細說明。

如圖1所示，本實用新型的射頻板條CO₂激光器光腔精密調節系統，包括一個能夠進行數據處理運算以及控制信號發出的微處理系統，所說的微處理系統主要由單片機構成，一個由調鏡板和設置在調鏡板上的一對微位移器構成的執行系統，所述微處理系統和執行系統之間設置有一個接收微處理系統的控制信號并能發出驅動信號，通過發出的驅動信號控制執行系統的驅動系統，所述執行系統和微處理系統之間還設置有一個能夠實時顯示功率數據以及能夠將功率數據反饋到微處理系統內的功率系統。

如圖2所示，本實用新型上述的調鏡板3為矩形板，調鏡板3上安裝有兩個微位移器，通過精密絲桿6與輸出鏡板4相連，其中一個微位移器通過精密絲桿6控制輸出鏡5的俯仰運動，另外一個微位移器通過精密絲桿6控制輸出鏡5的左右運動，所說的微位移器1可使用步進電機，伺服電機，壓電陶瓷等，分別控制輸出鏡5俯仰和左右兩條垂直的運動軌跡。

如圖3所示，為手動調節方式流程圖。激光器在工作過程中,?當輸出發生改變,?需要調腔時，按下其中任意一按鍵去控制某一電機。若功率變小，則向相反方向調節，否則繼續調節直至功率最大。另外一方向調節同理。