[實用新型]多晶硅廢氣淋洗系統有效
| 申請號： | 201320044003.6 | 申請日： | 2013-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN203061051U | 公開（公告）日： | 2013-07-17 |
| 發明（設計）人： | 沈宗喜;丁丙恒;章華;鄧亮;韓金國;唐金銳;余中煒;楊潔 | 申請（專利權）人： | 昆明冶研新材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/78 | 分類號： | B01D53/78;B01D53/96;B01D53/68 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 李志東 |
| 地址： | 655011 云南省昆*** | 國省代碼： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶 廢氣 淋洗 系統 | ||
1.一種多晶硅廢氣淋洗系統，其特征在于，包括：
第一淋洗塔，所述第一淋洗塔利用淋洗液對所述多晶硅廢氣進行淋洗；
第二淋洗塔，所述第二淋洗塔利用淋洗液對所述多晶硅廢氣進行淋洗；
第一淋洗液循環池，所述第一淋洗液循環池分別與所述第一淋洗塔和第二淋洗塔相連，用于接收來自所述第一淋洗塔和第二淋洗塔的淋洗液；
第二淋洗液循環池，所述第二淋洗液循環池與所述第一淋洗液循環池連通，用于接收來自所述第一淋洗液循環池的淋洗液；
廢渣阻擋部件，所述廢渣阻擋部件設置在所述第一淋洗液循環池和所述第二淋洗液循環池之間，用于阻止廢渣從所述第一淋洗液循環池進入所述第二淋洗液循環池；
第一循環泵，所述第一循環泵設置在所述第二淋洗液循環池內，用于將所述第二淋洗液循環池內的淋洗液引入到所述第一淋洗塔內；以及
第二循環泵，所述第二循環泵設置在所述第二淋洗液循環池內，用于將所述第二淋洗液循環池內的淋洗液引入到所述第二淋洗塔內。
2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述淋洗液為氫氧化鈉溶液6重量%～8重量%。
3.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述廢渣阻擋部件為格柵板，所述格柵板上形成有通孔。
4.根據權利要求3所述的系統，其特征在于，所述通孔為方形通孔或者圓形通孔。
5.根據權利要求4所述的系統，其特征在于，所述方形通孔的邊長為15~20mm。
6.根據權利要求4所述的系統，其特征在于，所述圓形通孔的直徑為15~20mm。
7.根據權利要求3所述的系統，其特征在于，在所述第一淋洗液循環池和所述第二淋洗液循環池的側壁形成重疊區域，
其中，在所述重疊區域上形成有連通口，所述廢渣阻擋部件設置在所述連通口中。
8.根據權利要求7所述的系統，其特征在于，在所述重疊區域上形成有多個連通口，其中，每個連通口均設置有至少一個廢渣阻擋部件。
9.根據權利要求7所述的系統，其特征在于，所述連通口設置在液面下至少400mm。
10.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第一循環泵和第二循環泵的至少一個設置在所述第二淋洗液循環池內遠離所述第一淋洗液循環池的一側。
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