[實用新型]一種防碎片裝置

有效

• 申請號: 201320042514.4
• 申請日: 2013-01-23
• 公開（公告）號: CN203134843U
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 劉成龍;張前;年平靜;王益文;何雙權;李敏
• 申請（專利權）人: 尚德太陽能電力有限公司;無錫尚德太陽能電力有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種防碎片裝置，用于防止未正常插置在承載模塊的預設槽位中的硅片在承載模塊移動時碎片，其特征在于，包括：

檢測模塊，設置在承載模塊側邊，其檢測位置高于正常設置在預設槽位中的硅片的頂部，且其在檢測位置上檢測到硅片時輸出觸發信號；

控制模塊，在接到檢測模塊所輸出的觸發信號時控制停止承載模塊的移動；以及

警示模塊，在接收到檢測模塊所輸出的觸發信號時發出警示信號。

2.根據權利要求1所述的防碎片裝置，其特征在于，所述檢測模塊為對射式光纖傳感器，其包括分別設置在承載模塊兩側的發射端和接收端，所述檢測位置為所述發射端與所述接收端之間的檢測線，所述檢測線與硅片在預設槽位中的插置方向垂直。

3.如權利要求2所述的防碎片裝置，其特征在于，所述發射端和接收端包括第一和第二安裝柱、第一和第二定位塊以及發射器和接收器，所述第一和第二安裝柱分別設置在承載模塊兩側，所述第一和第二定位塊分別連接在第一和第二安裝柱上，所述發射器和接收器分別設置在第一和第二定位塊上。

4.如權利要求3所述的防碎片裝置，其特征在于，所述第一和第二定位塊的材質均為柔性塑料，包括本體、貫通設置在本體一側上且截面為球拍形的槽體，所述球拍形槽體包括拍體部分和拍柄部分，拍體部分位于本體中部區域且與第一和第二安裝柱配合連接，拍柄部分與外界連通且其兩側壁上開設有同軸螺紋孔，通過穿過兩側壁的螺紋孔的螺栓或螺柱將第一或第二定位塊分別纏繞固定在第一和第二安裝柱上，所述發射器和接收器分別設置在第一和第二定位塊上遠離其拍柄部分的另一側。

5.如權利要求4所述的防碎片裝置，其特征在于，所述第一和第二定位塊的材質為聚丙烯或聚乙烯。

6.根據權利要求1所述的防碎片裝置，其特征在于，所述承載模塊為擴散用石英舟，通過機械手模塊將硅片插置至所述擴散石英舟的預設槽位中。

7.根據權利要求1所述的防碎片裝置，其特征在于，所述檢測模塊的檢測位置位于正常設置在預設槽位中的硅片頂部以上1mm。

8.根據權利要求1所述的防碎片裝置，其特征在于，所述承載模塊通過直線電機進行移動，所述控制模塊在接收到觸發信號時輸出停止信號使直線電機停止移動承載模塊。

9.根據權利要求1所述的防碎片裝置，其特征在于，所述控制模塊為工控機或可編程控制器。

10.根據權利要求1所述的防碎片裝置，其特征在于，所述警示模塊為蜂鳴器或黃閃燈，對應的警示信號為蜂鳴聲或黃閃燈閃爍。