[實用新型]一種中高溫太陽能選擇性吸收涂層

有效

• 申請號: 201320039698.9
• 申請日: 2013-01-24
• 公開（公告）號: CN203063207U
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發明（設計）人: 邵志雄;趙鋒;高雄虎
• 申請（專利權）人: 湖北桑夏太陽能產業有限公司
• 主分類號: B32B15/04
• 分類號: B32B15/04;B32B9/04
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 李紀昌

1.一種中高溫太陽能選擇性吸收涂層，其特征在于：該涂層包括五層，從底層到表層依次為紅外高反射層、防擴散阻隔層、高金屬填充因子吸收層、低金屬填充因子吸收層和減反射層；所述紅外高反射層為Cu膜；所述防擴散阻隔層為TiN膜；所述高金屬填充因子吸收層為第一Ti-AlN膜；所述低金屬填充因子吸收層為第二Ti-AlN膜；所述減反射層為AlN膜。

2.如權利要求1所述的一種中高溫太陽能選擇性吸收涂層，其特征在于：所述紅外高反射層Cu膜厚度為100～250nm；所述防擴散阻隔層TiN膜厚度為5～15nm；所述高金屬填充因子吸收層第一Ti-AlN膜厚度為20～50nm；所述低金屬填充因子吸收層第二Ti-AlN膜厚度為20～50nm；所述減反射層AlN膜厚度為50～150nm。