[實用新型]一種用于AMOLED 中的TFT工序中的結構有效
| 申請號： | 201320037633.0 | 申請日： | 2013-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN203242639U | 公開（公告）日： | 2013-10-16 |
| 發明（設計）人： | 文東星;郎豐偉 | 申請（專利權）人： | 四川虹視顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/786 | 分類號： | H01L29/786;H01L29/06;H01L27/32 |
| 代理公司： | 成都宏順專利代理事務所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 amoled 中的 tft 工序 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于AMOLED中的TFT工序中的結構，包括玻璃基板，其特征在于，所述玻璃基板上依次覆蓋有氧化物緩沖層和非晶硅層，所述非晶硅層為包含第一非晶硅層、NI原子區和第二非晶硅層的三層結構，所述NI原子區位于第一非晶硅層和第二非晶硅層之間與非晶硅層構成三明治結構。
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