[實用新型]基于光學相干層析掃描的三維孔形檢測系統

有效

• 申請號: 201320035316.5
• 申請日: 2013-01-23
• 公開（公告）號: CN203069151U
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發明（設計）人: 劉茂珍;李喜錦;李育華
• 申請（專利權）人: 劉茂珍;李喜錦;李育華
• 主分類號: G01B11/22
• 分類號: G01B11/22;G01B11/08;G01N21/45
• 代理公司: 桂林市持衡專利商標事務所有限公司 45107
• 代理人: 陳躍琳

1.基于光學相干層析掃描的三維孔形檢測系統，其特征在于：

主要由光學相干層析成像裝置（1）、系統光纖準直器（4）、二維掃描振鏡（5）、掃描物鏡（6）、縱移平臺（3）、平移平臺（8）和計算機（9）組成；

縱移平臺（3）和平移平臺（8）均與計算機（9）相連，計算機（9）控制縱移平臺（3）和平移平臺（8）的運動；系統光纖準直器（4）、二維掃描振鏡（5）、掃描物鏡（6）固定在縱移平臺（3），并跟隨縱移平臺（3）運動；待測的電路板（7）放置在平移平臺（8）上，并跟隨平移平臺（8）運動；縱移平臺（3）垂直位于平移平臺（8）的正上方；

光學相干層析成像裝置（1）與計算機（9）相連；光學相干層析成像裝置（1）發出的探測光由光纖（2）進入系統光纖準直器（4），系統光纖準直器（4）將探測光準直后進入到二維掃描振鏡（5）進行二維掃描，二維掃描振鏡（5）輸出的光經掃描物鏡（6）進行聚焦后進入放置在平移平臺（8）上的電路板（7），電路板（7）產生的反射光經原路即依次經掃描物鏡（6）、二維掃描振鏡（5）和系統光纖準直器（4）后返回至光學相干層析成像裝置（1），由光學相干層析成像裝置（1）獲得干涉信號后送入計算機（9）。

2.根據權利要求1所述基于光學相干層析掃描的三維孔形檢測系統，其特征在于：

縱移平臺（3）和平移平臺（8）的組合為以下3種之一，即：

縱移平臺（3）僅由Z軸運動電機構成時，平移平臺（8）由X軸電機和Y軸運動電機組成；

或縱移平臺（3）由Z軸運動電機和X軸運動電機組成時、平移平臺（8）僅由Y軸運動電機構成；

或縱移平臺（3）由Z軸運動電機和Y軸運動電機組成時、平移平臺（8）僅由X軸運動電機構成。

3.根據權利要求1或2所述基于光學相干層析掃描的三維孔形檢測系統，其特征在于：

光學相干層析成像裝置（1）為頻域光學相干層析成像裝置，此時該光學相干層析成像裝置（1）主要由掃頻光源（10）、光纖環形（11）、光纖耦合器（12）、2個偏振控制器（13、17）、光纖準直器（14）、反射鏡（15）和平衡探測器（16）組成；

掃頻光源（10）發出寬帶掃頻光，進入到光纖環形（11），然后進入到光纖耦合器（12），由光纖耦合器（12）分成兩束光，其中一束由第一偏振控制器（13）和光纖準直器（14）進入反射鏡（15）進行反射后經原路回到光纖耦合器（12）；另一束由第二偏振控制器（17）輸出到系統光纖準直器（4）和二維掃描振鏡（5）進入到掃描物鏡（6），由掃描物鏡（6）聚焦到于電路板（7）；電路板（7）的反射光經原路回到光纖耦合器（12）；兩路反射光在光纖耦合器（20）中形成干涉；平衡探測器（16）同時接收光纖環形（11）和探測光纖耦合器（12）返回的干涉信號后送入計算機（9）。

4.根據權利要求1或2所述基于光學相干層析掃描的三維孔形檢測系統，其特征在于：

光學相干層析成像裝置（1）為譜域光學相干層析成像裝置，此時該光學相干層析成像裝置（1）主要由寬帶連續光源（18）、光隔離器（19）、光纖耦合器（20）、3個偏振控制器（21、22、25）、2個光纖準直器（23、26）、反射鏡（24）、光柵（27）、光譜物鏡（28）和線掃描相機（29）組成；

寬帶連續光源（18）發出寬帶光譜，經光隔離器（19）進入到光纖耦合器（20），由光纖耦合器（20）分成兩束，其中一束經第一偏振控制器（21）和第一光纖準直器（23）進入反射鏡（24），由反射鏡（24）反射后經原路回到光纖耦合器（20）；另一束經第二偏振控制器（22）輸出到系統光纖準直器（4）和二維掃描振鏡（5）進入到掃描物鏡（6），由掃描物鏡（6）聚焦到電路板（7）,電路板（7）的反射光經原路回到光纖耦合器（20）；兩路反射光在光纖耦合器（20）中形成干涉；干涉光經第三偏振控制器（25）、第二光纖準直器（26）進入到光柵（27）后分成各個準單色光，經光譜物鏡（28）聚焦到線掃描相機（29），線掃描相機（29）的輸出連接計算機（9）。