[實用新型]多晶硅生產中副產物的回收系統有效
| 申請號： | 201320034159.6 | 申請日： | 2013-01-23 |
| 公開（公告）號： | CN203033766U | 公開（公告）日： | 2013-07-03 |
| 發明（設計）人： | 齊林喜 | 申請（專利權）人： | 內蒙古盾安光伏科技有限公司 |
| 主分類號： | C01B3/50 | 分類號： | C01B3/50;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京智匯東方知識產權代理事務所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 范曉斌;張群峰 |
| 地址： | 015500 內蒙古自*** | 國省代碼： | 內蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶 生產 副產物 回收 系統 | ||
1.一種多晶硅生產中副產物的回收系統，用于將多晶硅生產時產生的還原尾氣中的氫氣、氯硅烷和氯化氫氣體回收利用，其特征在于，所述回收系統包括：
第一冷凝單元，用于從所述還原尾氣中分離出大部分氯硅烷；
與所述第一冷凝單元直接連通的吸附單元，用于除去從所述第一冷凝單元中出來的還原尾氣中全部的氯化氫以及剩余的氯硅烷，從而得到純氫；
與所述吸附單元連通的冷氫化反應器，所述吸附單元用氫氣再生得到的再生氣作為冷氫化反應的原料送入所述冷氫化反應器。
2.根據權利要求1所述的回收系統，其特征在于，還包括：
與所述第一冷凝單元連通的第一提純塔，所述第一提純塔用于從所述大部分氯硅烷中進一步分離出三氯氫硅和四氯化硅；
所述第一提純塔還與所述冷氫化反應器連通，分離出的四氯化硅作為冷氫化反應的原料送入所述冷氫化反應器。
3.根據權利要求1或2所述的回收系統，其特征在于，所述吸附單元包括至少兩個吸附柱，當所述至少兩個吸附柱中的第一吸附柱處于吸附的工作狀態時，所述至少兩個吸附柱中的第二吸附柱處于再生的工作狀態。
4.根據權利要求3所述的回收系統，其特征在于，還包括壓縮機，所述吸附單元通過壓縮機與所述冷氫化反應器連通；用于將所述再生氣加壓后再送入冷氫化反應器中。
5.根據權利要求4所述的回收系統，其特征在于，還包括：
對所述冷氫化反應器提供Si粉的Si粉儲罐；
用于存儲從吸附單元得到的純氫的氫氣罐；和/或
四氯化硅罐，所述第一提純塔通過所述四氯化硅罐與所述冷氫化反應器連通。
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