[實用新型]電子束流大小的導向控制裝置

有效

• 申請號: 201320029727.3
• 申請日: 2013-01-21
• 公開（公告）號: CN203085194U
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 胡志榮
• 申請（專利權）人: 江蘇達勝加速器制造有限公司
• 主分類號: G21K1/093
• 分類號: G21K1/093;G21K1/02
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

技術領域

本實用新型涉及了一種電子束流大小的導向控制裝置，屬于加速器束流控制技術領域。

背景技術

目前，國內外加速器的最低工作束流均在毫安數量級，而且常常工作在固定束流下。同一臺加速器在不同場合工作時，束流可調范圍也在一個數量級內，如要穩定地、平穩地調節到幾十微安以內幾乎是不可能實現的。

?通過燈絲的改進，可以使束流在微安數量級內實現平穩可調，但是要在納安數量級內平穩可調是無法實現的。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種電子束流大小的導向控制裝置，通過改變導向線圈的電流大小，調節束流通過圓孔的束流量，從而實現對電子束流大小的控制。

?為了解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案是：

一種電子束流大小的導向控制裝置，包括加速管，所述加速管的下端連接有掃描盒，所述加速管上安裝有用于調整束流偏移量的導向線圈，所述加速管與掃描盒的連接處設置有光闌板，所述光闌板的中心開有圓孔。

前述的電子束流大小的導向控制裝置，其特征在于：所述光闌板邊緣四周為中空狀，并設有通水孔。

前述的電子束流大小的導向控制裝置，其特征在于：所述導向線圈上方的加速管上設置有聚焦線圈。

前述的電子束流大小的導向控制裝置，其特征在于：所述掃描盒的上部設有Y掃描線圈和X掃描線圈。

本實用新型的有益效果是：通過在原有裝置的掃描盒與加速管之間加裝一光闌板，并在光闌板的中心位置開一圓孔，通過控制導向線圈的電流調節電子束流通過圓孔的束流量，從而實現了對電子束流大小的控制，該裝置結構簡單，操作方便，且調節幅度大，可方便的將束流減少2個數量級。

附圖說明

圖1是本實用新型電子束流大小的導向控制裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合說明書附圖，對本實用新型做進一步的說明。

如圖1所示，一種電子束流大小的導向控制裝置，包括加速管1，所述加速管1的下端連接有掃描盒7，所述加速管1上安裝有用于調整束流偏移量的導向線圈3，所述加速管1與掃描盒7的連接處設置有光闌板4，所述光闌板4的中心開有圓孔41。通過在原有裝置的掃描盒7與加速管1之間加裝一光闌板4，并在光闌板4的中心位置開一圓孔41，通過控制導向線圈3的電流調節電子束流通過圓孔41的束流量，從而實現了對電子束流大小的控制，所述圓孔41的大小為能夠讓70%左右的束流順利通過為宜，束流的邊緣被光闌板4擋住、吸收。

所述光闌板4邊緣四周為中空狀，并設有通水孔42，通過通水孔42向光闌板4中加水，以便冷卻被阻擋的電子束所發的熱量，避免溫升。

所述導向線圈3上方的加速管1上設置有聚焦線圈2，所述掃描盒的上部設有Y掃描線圈5和X掃描線圈6。

本實用新型提供的一種電子束流大小的導向控制裝置，通過改變導向線圈的電流大小，調節束流通過圓孔的束流量，從而實現對電子束流大小的控制。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征及優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界。