[實用新型]一種激光器溫控系統有效
| 申請號： | 201320028516.8 | 申請日： | 2013-01-18 |
| 公開（公告）號： | CN203193112U | 公開（公告）日： | 2013-09-11 |
| 發明（設計）人： | 張立佳;吳曉斌;趙江山;丁金濱;陳進新;李慧;劉斌;崔惠絨;周翊;王宇 | 申請（專利權）人： | 中國科學院光電研究院 |
| 主分類號： | H01S3/041 | 分類號： | H01S3/041;G05D23/20 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 激光器 溫控 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種激光器溫控系統，所述激光器包括放電腔，該放電腔在工作時會產生熱量，其中，?
所述系統用于控制激光器的放電腔的溫度，且包括多個溫度檢測器和多個溫度控制裝置，所述多個溫度檢測器用于檢測與放電腔的溫度有關的多個位置的溫度，所述多個溫度控制裝置用于冷卻或加熱放電腔，其特征在于，所述系統還包括：?
一個神經網絡PID控制器。?
2.如權利要求1所述的激光器溫控系統，其特征在于，所述神經網絡PID控制器用于檢測及控制放電腔內工作氣體溫度，神經網絡PID控制器包括PID控制器和神經網絡，PID控制器直接對被控對象過程施行閉環控制，神經網絡用于調節PID控制器的參數。?
3.如權利要求2所述的激光器溫控系統，其特征在于，所述系統還包括能量檢測模塊，其用于檢測注入所述放電腔的電能量，從而得到注入放電腔的電能量的變化，并將該電信號傳送給所述神經網絡PID控制器。?
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