[實(shí)用新型]一種分體式差壓傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320028493.0
• 申請(qǐng)日: 2013-01-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203011611U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 俞永和
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京瑞普恩德斯豪斯儀表有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01L13/06
• 分類(lèi)號(hào): G01L13/06
• 代理公司: 北京北新智誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100
• 代理人: 朱麗華

1.一種分體式差壓傳感器，其特征在于：包括有差壓芯片單元和靜壓芯片單元,所述的差壓芯片單元和靜壓芯片單元各為獨(dú)立的單元體芯片,其中：

所述的差壓芯片單元中內(nèi)置有差壓硅片，并至少設(shè)有一對(duì)差壓供電引腳DPIn⁺、DPIn^-和一對(duì)差壓輸出引腳DPout⁺、DPout^-；

所述的靜壓芯片單元內(nèi)置有靜壓硅片，并至少設(shè)有一對(duì)靜壓供電端子APS⁺、APS^-和一對(duì)靜壓輸出端子APO⁺、APO^-；

在所述靜壓芯片單元的單元體芯片上還設(shè)有四個(gè)差壓引線端子，差壓芯片單元的一對(duì)差壓供電引腳DPIn+、DPIn-和一對(duì)差壓輸出引腳DPout+、DPout-分別通過(guò)引線連接到這四個(gè)差壓引線端子上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式差壓傳感器，其特征在于：所述的差壓芯片單元和靜壓芯片單元分別置于兩個(gè)分體模塊上,將差壓信號(hào)和靜壓信號(hào)線一同引到外部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分體式差壓傳感器，其特征在于：所述靜壓芯片的單元體芯片的模塊體上設(shè)有一組輔助用引腳。