[實用新型]一種高純度氬氣凈化裝置

有效

• 申請號: 201320027627.7
• 申請日: 2013-01-20
• 公開（公告）號: CN203048598U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 曹素英;林景升
• 申請（專利權）人: 廊坊黎明氣體有限公司
• 主分類號: C01B23/00
• 分類號: C01B23/00
• 代理公司: 石家莊冀科專利商標事務所有限公司 13108
• 代理人: 李羨民;雷秋芬

1.一種高純度氬氣凈化裝置，其特征是，它包括交替運行的兩個工作組，其中每一工作組均由氬氣凈化系統和脫氧劑再生系統組成，所述氬氣凈化系統包括通過管路連接的原料氣過濾器(A)、一級凈化柱(C1)、二級凈化柱(C2)、氬氣風冷冷卻器(E1)、氬氣水冷冷卻器(E2)和產品氣過濾器(B)，所述原料氣過濾器(A)安裝在原料氣氣源(1)與一級凈化柱(C1)之間的管路上，所述一級凈化柱(C1)出氣口與二級凈化柱(C2)進氣口連接，在二級凈化柱(C2)出口處并聯氬氣風冷冷卻器(E1)和氬氣水冷冷卻器(E2)，所述產品氣過濾器(B)位于氬氣凈化系統管路后端，在氬氣凈化系統管路末端設置產品氣收集口(6)。

2.根據權利要求1所述的一種高純度氬氣凈化裝置，其特征是，所述原料氣過濾器（A）的進口管路上設有原料氣流量表(FI01)、第一截止閥(F101)和第一壓力表(PI01)，在第一壓力表管路上設有第三截止閥(F103)，在原料氣過濾器(A)出口管路上設有第二壓力表(PI02)，所述第二壓力表管路上設有第四截止閥(F104)。

3.根據權利要求2所述的一種高純度氬氣凈化裝置，其特征是，所述一級凈化柱(C1)外部設有電加熱機構，在一級凈化柱(C1)內部填充吸附劑和脫氧劑，在一級凈化柱(C1)上設置一級凈化柱溫度顯示表(TI01)，一級凈化柱進氣口與原料氣過濾器出口管路連接，在一級凈化柱出口管路上設有第六截止閥(F106)。

4.根據權利要求3所述的一種高純度氬氣凈化裝置，其特征是，所述二級凈化柱(C2)外部設有電加熱機構，在二級凈化柱(C2)內部填充過渡金屬化合物吸附劑，在二級凈化柱(C2)上設置二級凈化柱溫度顯示表(TI02)，二級凈化柱出口管路與氬氣風冷冷卻器(E1)進氣口及氬氣水冷冷卻器(E2)進氣口為三通結構，在氬氣風冷冷卻器進氣口處設置第十一截止閥(F111)，在氬氣水冷冷卻器進氣口處設置第十截止閥(F110)。

5.根據權利要求4所述的一種高純度氬氣凈化裝置，其特征是，所述氬氣水冷冷卻器(E2)內設有冷卻水流通管路和氬氣流通管路，所述冷卻水流通管路兩端分別連接冷卻水進口(5)與冷卻水出口(3)，所述氬氣流通管路兩端分別與二級凈化柱(C2)出氣管路及產品氣過濾器(B)進氣口連接。

6.根據權利要求5所述的一種高純度氬氣凈化裝置，其特征是，所述產品氣過濾器(B)的出氣管路上設有產品氣純度檢測表(AE01)和第九截止閥(F109)，在產品氣純度檢測表(AE01)管路上還設有第八截止閥(F108)。

7.根據權利要求6所述的一種高純度氬氣凈化裝置，其特征是，所述脫氧劑再生系統包括氫氣輸送管路、再生廢氣冷卻器(E3)和廢氣排放口(4)，所述氫氣輸送管路進氣端與氫氣供應氣源(2)連接，在氫氣輸送管路上設有氫氣流量表(FI02)和第二截止閥(F102)，氫氣經原料氣過濾器(A)進入一級凈化柱(C1)內，在此完成脫氧劑還原反應后，廢氣經廢氣冷卻器(E3)冷卻，所述廢氣冷卻器(E3)連接在氬氣水冷冷卻器(E2)的冷卻水管路中，在廢氣冷卻器進氣管路上設有第五截止閥(F105)，廢氣冷卻器（E3）的出氣口與廢氣排放口(4)連接。