[實用新型]抗振石英撓性加速度傳感器有效
| 申請號： | 201320024286.8 | 申請日： | 2013-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN203037666U | 公開（公告）日： | 2013-07-03 |
| 發明（設計）人： | 杜琨 | 申請（專利權）人： | 廊坊市北斗神舟測控儀器有限公司 |
| 主分類號： | G01P15/00 | 分類號： | G01P15/00 |
| 代理公司： | 北京汲智翼成知識產權代理事務所(普通合伙) 11381 | 代理人： | 陳曦;賈興昌 |
| 地址： | 065000*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石英 加速度 傳感器 | ||
1.一種抗振石英撓性加速度傳感器，包括表頭和與所述表頭連接的集成電路，其中，所述表頭包括殼體和位于所述殼體內部的表芯，所述表芯包括蓋板、下力矩器和位于所述蓋板和所述下力矩器之間的石英撓性擺組件，其特征在于：
所述石英撓性擺組件包括平頭擺片。
2.如權利要求1所述的抗振石英撓性加速度傳感器，其特征在于：
所述平頭擺片包括弓形環狀的支撐環、撓性梁和擺，所述支撐環位于所述擺的外緣，所述擺通過所述撓性梁和所述支撐環連接；所述支撐環的截面是由兩個具有不同半徑的同心弓形組成的弓形環，所述支撐環由圓弧段和平頭弦段組成，所述圓弧段的圓弧長度大于半圓的長度，所述平頭弦段靠近并平行于所述撓性梁設置。
3.如權利要求2所述的抗振石英撓性加速度傳感器，其特征在于：
所述石英撓性擺組件還包括配重和線圈，所述配重、所述平頭擺片和所述線圈之間通過耐高溫膠粘接。
4.如權利要求3所述的抗振石英撓性加速度傳感器，其特征在于：
所述下力矩器包括磁鋼和磁極片，并且，所述磁鋼和所述磁極片之間至少部分地通過耐高溫膠粘結。
5.如權利要求4所述的抗振石英撓性加速度傳感器，其特征在于：
所述表芯還包括環繞所述蓋板和所述下力矩器的腹帶，其中，所述石英撓性擺組件、所述蓋板、所述下力矩器和所述腹帶之間通過耐高溫膠粘結。
6.如權利要求5所述的抗振石英撓性加速度傳感器，其特征在于：
在所述表頭中，所述殼體與所述表芯通過耐高溫膠粘接。
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