[實用新型]一種對心封裝的石英撓性加速度傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320023222.6 | 申請日： | 2013-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN203037669U | 公開（公告）日： | 2013-07-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 杜琨 | 申請（專利權(quán)）人： | 廊坊市北斗神舟測控儀器有限公司 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京汲智翼成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11381 | 代理人： | 陳曦;賈興昌 |
| 地址： | 065000*** | 國省代碼： | 河北;13 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 對心 封裝 石英 加速度 傳感器 | ||
1.一種對心封裝的石英撓性加速度傳感器，包括表頭和集成電路，所述表頭和所述集成電路通過連接線連接，其特征在于：
所述集成電路包括：電路和電路蓋，所述電路蓋由第一電路蓋和第二電路蓋組成，所述第二電路蓋上設(shè)置有孔，所述第一電路蓋的形狀和所述第二電路蓋上設(shè)置的孔的形狀對應(yīng)，所述第一電路蓋固定蓋合所述第二電路蓋設(shè)置的孔；
所述第二電路蓋固定在所述表頭上；
所述表頭包括：殼體和表芯，所述表芯設(shè)置在所述殼體中，
所述集成電路封裝在所述表頭的殼體中。
2.如權(quán)利要求1所述的石英撓性加速度傳感器，其特征在于：
所述第一電路蓋和所述第二電路蓋通過激光焊接方式固定。
3.如權(quán)利要求1所述的石英撓性加速度傳感器，其特征在于：
所述第一電路蓋和所述第二電路蓋在同一平面上。
4.如權(quán)利要求1所述的石英撓性加速度傳感器，其特征在于：
所述第一電路蓋和所述第二電路蓋同軸固定。
5.如權(quán)利要求1所述的石英撓性加速度傳感器，其特征在于：
所述表頭和所述第二電路蓋連接通過激光焊接方式固定。
6.如權(quán)利要求1所述的石英撓性加速度傳感器，其特征在于：
所述第一電路蓋和所述第二電路蓋上設(shè)置的孔大小一致。
7.如權(quán)利要求1所述的石英撓性加速度傳感器，其特征在于：
所述表芯包括檢測質(zhì)量擺組件、電磁力矩器、差動電容傳感器、伺服電路；
所述檢測質(zhì)量擺組件與所述電磁力矩器連接，所述電磁力矩器固定在所述殼體上；
所述伺服電路與所述差動電容傳感器連接。
8.如權(quán)利要求7所述的石英撓性加速度傳感器，其特征在于：
所述檢測質(zhì)量擺組件包括擺片、線圈、磁鋼，所述擺片包括極板、外環(huán)、撓性平橋；
所述極板與所述外環(huán)之間通過所述撓性平橋連接；
所述磁鋼穿過所述線圈，所述極板的一端設(shè)置在所述差動電容傳感器中間位置，所述極板的外環(huán)與所述電磁力矩器連接，所述伺服電路還與所述線圈連接。
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